[發(fā)明專利]外延設(shè)備清洗提醒方法、裝置、電子設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110942705.5
• 申請(qǐng)日: 2021-08-17
• 公開（公告）號(hào): CN113652745A
• 公開（公告）日: 2021-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戴科峰;唐卓睿;盛飛龍;王鑫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 季華實(shí)驗(yàn)室
• 主分類號(hào): C30B25/16
• 分類號(hào): C30B25/16;C30B25/14;C30B29/36;C23C16/52;C23C16/44
• 代理公司: 佛山市海融科創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44377
• 代理人: 陳志超

本發(fā)明涉及外延生長(zhǎng)技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種外延設(shè)備清洗提醒方法、裝置、電子設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)，所述方法包括以下步驟：獲取外延設(shè)備產(chǎn)生的反應(yīng)尾氣的顆粒物直徑信息；根據(jù)所述顆粒物直徑信息和預(yù)設(shè)的顆粒物直徑閾值的比較結(jié)果發(fā)出清洗提醒信息；該方法通過(guò)獲取外延設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中產(chǎn)生的反應(yīng)尾氣中的顆粒物直徑信息，以間接獲知外延設(shè)備反應(yīng)室內(nèi)雜質(zhì)的生長(zhǎng)情況，基于顆粒物直徑信息和顆粒物直徑閾值的比較結(jié)果可確定外延設(shè)備的反應(yīng)室是否需要進(jìn)行清洗，能及時(shí)提醒用戶清洗外延設(shè)備，避免產(chǎn)生過(guò)多的劣質(zhì)產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)智能化清洗提醒功能，以確定外延設(shè)備的最優(yōu)維護(hù)時(shí)間。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及外延生長(zhǎng)技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種外延設(shè)備清洗提醒方法、裝置、電子設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)。

背景技術(shù)

外延設(shè)備的臟污問(wèn)題是影響外延效率的主要因素，因此，外延設(shè)備在運(yùn)行一段時(shí)間后便需要停機(jī)進(jìn)行設(shè)備清洗維護(hù)，否則臟污的反應(yīng)室會(huì)影響外延生長(zhǎng)質(zhì)量。

現(xiàn)有的外延設(shè)備，一般在連續(xù)使用1-2天便需要進(jìn)行設(shè)備清洗維護(hù)，當(dāng)前主要判斷設(shè)備是否需要維護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)是生長(zhǎng)厚度，即利用外延片的產(chǎn)量進(jìn)行判斷，采用這種判斷方式的主要原因是因?yàn)楝F(xiàn)有技術(shù)中沒(méi)有很好的標(biāo)準(zhǔn)來(lái)判斷設(shè)備內(nèi)部的運(yùn)行狀態(tài)，只能根據(jù)經(jīng)驗(yàn)值設(shè)定一個(gè)生長(zhǎng)厚度標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行判斷；然而，這個(gè)人為設(shè)定的生長(zhǎng)厚度標(biāo)準(zhǔn)缺少與反應(yīng)室內(nèi)情況的直接關(guān)聯(lián)性，常常未能作為精確指標(biāo)提醒用戶清洗外延設(shè)備，導(dǎo)致產(chǎn)品產(chǎn)生缺陷。

針對(duì)上述問(wèn)題，目前尚未有有效的技術(shù)解決方案。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)實(shí)施例的目的在于提供一種外延設(shè)備清洗提醒方法、裝置、電子設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)，能及時(shí)提醒用戶清洗外延設(shè)備，實(shí)現(xiàn)智能化清洗提醒功能。

第一方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種外延設(shè)備清洗提醒方法，用于提示外延設(shè)備的反應(yīng)室需要進(jìn)行清洗，所述方法包括以下步驟：獲取外延設(shè)備產(chǎn)生的反應(yīng)尾氣的顆粒物直徑信息；

根據(jù)所述顆粒物直徑信息和預(yù)設(shè)的顆粒物直徑閾值的比較結(jié)果發(fā)出清洗提醒信息。

本申請(qǐng)實(shí)施例的一種外延設(shè)備清洗提醒方法，通過(guò)獲取外延設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中產(chǎn)生的反應(yīng)尾氣中的顆粒物直徑信息，以間接獲知外延設(shè)備反應(yīng)室內(nèi)雜質(zhì)的生長(zhǎng)情況，即間接獲取了反應(yīng)室內(nèi)掉落物大小數(shù)據(jù)，基于顆粒物直徑信息和顆粒物直徑閾值的比較結(jié)果可確定外延設(shè)備的反應(yīng)室是否需要進(jìn)行清洗，能及時(shí)提醒用戶清洗外延設(shè)備，避免產(chǎn)生過(guò)多的劣質(zhì)產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)智能化清洗提醒功能，以確定外延設(shè)備的最優(yōu)維護(hù)時(shí)間。

所述的一種外延設(shè)備清洗提醒方法，其中，所述根據(jù)所述顆粒物直徑信息和預(yù)設(shè)的顆粒物直徑閾值的比較結(jié)果發(fā)出清洗提醒信息的步驟包括：

獲取顆粒物直徑信息中最大顆粒物的直徑；

比較最大顆粒物的直徑和預(yù)設(shè)的顆粒物直徑閾值之間的大小；

若最大顆粒物的直徑大于或等于顆粒物直徑閾值，發(fā)出清洗提醒信息。

所述的一種外延設(shè)備清洗提醒方法，其中，所述顆粒物直徑閾值為50-100μm。

所述的一種外延設(shè)備清洗提醒方法，其中，所述方法還包括步驟：若發(fā)出清洗提醒信息時(shí)，外延設(shè)備中存在正在外延生長(zhǎng)的襯底，待該襯底完成外延生長(zhǎng)后，暫停外延設(shè)備運(yùn)行。

所述的一種外延設(shè)備清洗提醒方法，其中，所述獲取外延設(shè)備產(chǎn)生的反應(yīng)尾氣的顆粒物直徑信息的步驟為：在外延設(shè)備啟動(dòng)后開始獲取或在外延設(shè)備啟動(dòng)后延時(shí)開始獲取外延設(shè)備產(chǎn)生的反應(yīng)尾氣的顆粒物直徑信息。

所述的一種外延設(shè)備清洗提醒方法，其中，所述獲取外延設(shè)備產(chǎn)生的反應(yīng)尾氣的顆粒物直徑信息的步驟為：持續(xù)獲取或間斷獲取外延設(shè)備產(chǎn)生的反應(yīng)尾氣的顆粒物直徑信息。

所述的一種外延設(shè)備清洗提醒方法，其中，所述顆粒物直徑信息為間斷獲取，所述顆粒物直徑信息的間斷獲取的間隔為定值或隨外延設(shè)備運(yùn)行時(shí)長(zhǎng)逐步縮短。