[發(fā)明專利]一種碲化鋅粉末及其靶材的制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110916079.2
• 申請(qǐng)日: 2021-08-10
• 公開（公告）號(hào): CN113416074A
• 公開（公告）日: 2021-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 文崇斌;王英潔;朱劉;童培云
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東先導(dǎo)稀材股份有限公司
• 主分類號(hào): C04B35/515
• 分類號(hào): C04B35/515;C04B35/626;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 夏菁

1.一種碲化鋅粉末的制備方法，包括以下步驟：

將碲和鋅分別置于氣相沉積裝置的加熱區(qū)，使碲和鋅不接觸；

對(duì)碲和鋅分別進(jìn)行加熱，使二者進(jìn)行氣相反應(yīng)，得到碲化鋅粉末；

所述對(duì)碲和鋅分別進(jìn)行加熱為：對(duì)碲進(jìn)行加熱，控制溫度從室溫升溫至1000～1050℃，升溫時(shí)間70～100min；同時(shí)對(duì)鋅進(jìn)行加熱，控制溫度從室溫升溫至950～1000℃，升溫時(shí)間70～100min。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述碲和鋅的摩爾比為1:1。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，將碲和鋅分別置于氣相沉積裝置的加熱區(qū)后，將體系抽真空至＜10^-3Pa，然后通入氮?dú)庵脸?，重?fù)上述操作1～3次，然后抽真空保持體系壓力為10～50Pa。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，使二者進(jìn)行氣相反應(yīng)后，從氣相沉積裝置的冷卻區(qū)收集碲化鋅粉末。

5.一種碲化鋅靶材的制備方法，包括以下步驟：

按照權(quán)利要求1～4任一項(xiàng)所述的制備方法制備碲化鋅粉末；

將碲化鋅粉末進(jìn)行真空熱壓燒結(jié)，得到碲化鋅靶材。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述真空熱壓燒結(jié)的真空度＜10Pa。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述真空熱壓燒結(jié)的升溫曲線為：從室溫升溫至650～750℃，升溫時(shí)間55～75min，保溫4～7小時(shí)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述真空熱壓燒結(jié)的加壓曲線為：

當(dāng)體系溫度達(dá)到650～750℃時(shí)，保溫3～6小時(shí)，然后開始加壓，加壓壓力為35～55Mpa，保壓時(shí)間為30～60min。

9.一種制備碲化鋅粉末的氣相沉積裝置，包括爐體；

所述爐體內(nèi)設(shè)置有鋅加熱腔室、碲加熱腔室和沉積腔室；

所述鋅加熱腔室、碲加熱腔室和沉積腔室相互連通，且所述鋅加熱腔室和碲加熱腔室不接觸。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的氣相沉積裝置，其特征在于，所述爐體為T形；

所述鋅加熱腔室、碲加熱腔室分別位于T形爐體的橫頭部位左右兩端；

所述沉積腔室位于T形爐體的底部；

所述鋅加熱腔室、碲加熱腔室分別設(shè)置有加熱裝置；

所述沉積腔室設(shè)置有冷卻裝置；

所述爐體的底部設(shè)置有真空及充氣接口。