[發(fā)明專利]一種CMP設(shè)備模擬測(cè)試方法和測(cè)試系統(tǒng)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110909603.3
• 申請(qǐng)日: 2021-08-09
• 公開（公告）號(hào): CN113535588A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 侯為萍;周慶亞;張文斌;楊元元;孟曉云;田知玲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京爍科精微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G06F11/36
• 分類號(hào): G06F11/36
• 代理公司: 北京三聚陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 李靜玉

1.一種CMP設(shè)備模擬測(cè)試方法，其特征在于，所述方法包括：

初始化硬件模組，并配置所述硬件模組的硬件信息,所述硬件信息至少包括信道信息和運(yùn)行數(shù)值，所述硬件模組與所述硬件信息存放于模擬共享內(nèi)存中以保證信息的唯一性；

啟動(dòng)由所述硬件模組搭建的模擬CMP設(shè)備，并獲取所述信道信息中輸出點(diǎn)的輸出值；

根據(jù)所述輸出值確定所述模擬CMP設(shè)備的運(yùn)行狀況，所述輸出值存放于所述模擬共享內(nèi)存中；

在所述模擬CMP設(shè)備運(yùn)行狀況正常的情況下，修改至少一個(gè)所述運(yùn)行數(shù)值為異常值，并根據(jù)所述輸出點(diǎn)的新輸出值檢測(cè)監(jiān)控報(bào)警功能的響應(yīng)情況。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述模擬CMP設(shè)備運(yùn)行狀況正常的情況下，修改至少一個(gè)所述運(yùn)行數(shù)值為異常值，并根據(jù)所述輸出點(diǎn)的新輸出值檢測(cè)監(jiān)控報(bào)警功能的響應(yīng)情況，包括：

當(dāng)所述新輸出值大于預(yù)設(shè)閾值時(shí)，所述監(jiān)控報(bào)警功能可以在預(yù)設(shè)時(shí)間內(nèi)發(fā)出報(bào)警信息，則得到監(jiān)控報(bào)警功能正常的測(cè)試結(jié)果；

當(dāng)所述新輸出值大于預(yù)設(shè)閾值時(shí)，所述監(jiān)控報(bào)警功能未在預(yù)設(shè)時(shí)間內(nèi)發(fā)出報(bào)警信息，則得到監(jiān)控報(bào)警功能故障的測(cè)試結(jié)果，并發(fā)出檢查所述信道信息、預(yù)設(shè)閾值和所述硬件模組中監(jiān)控模組的通知。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

在所述模擬CMP設(shè)備運(yùn)行狀況正常的情況下，修改至少一個(gè)所述硬件模組中的硬件參數(shù)，并根據(jù)所述輸出點(diǎn)的新輸出值檢測(cè)監(jiān)控報(bào)警功能的響應(yīng)情況。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述修改至少一個(gè)所述硬件模組中的硬件參數(shù)，并根據(jù)所述輸出點(diǎn)的新輸出值檢測(cè)監(jiān)控報(bào)警功能的響應(yīng)情況，包括：

當(dāng)所述新輸出值大于預(yù)設(shè)閾值時(shí)，所述監(jiān)控報(bào)警功能可以在預(yù)設(shè)時(shí)間內(nèi)發(fā)出報(bào)警信息，則得到監(jiān)控報(bào)警功能正常的測(cè)試結(jié)果；

當(dāng)所述新輸出值大于預(yù)設(shè)閾值時(shí)，所述監(jiān)控報(bào)警功能未在預(yù)設(shè)時(shí)間內(nèi)發(fā)出報(bào)警信息，則得到監(jiān)控報(bào)警功能故障的測(cè)試結(jié)果，并發(fā)出檢查所述信道信息、預(yù)設(shè)閾值和所述硬件模組中監(jiān)控模組的通知。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的方法，其特征在于，在所述監(jiān)控報(bào)警功能可以在預(yù)設(shè)時(shí)間內(nèi)發(fā)出報(bào)警信息，則得到監(jiān)控報(bào)警功能正常的測(cè)試結(jié)果之后，還包括：

監(jiān)測(cè)在發(fā)出所述報(bào)警信息的同時(shí)是否能夠停止模擬，以及能否啟動(dòng)晶圓保護(hù)功能。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，工程人員在接收到所述報(bào)警信息后恢復(fù)故障部分，并在恢復(fù)完成后繼續(xù)運(yùn)行模擬CMP設(shè)備時(shí)，包括：

檢測(cè)當(dāng)前硬件模組和當(dāng)前硬件信息是否與停機(jī)前正常運(yùn)行狀態(tài)下的情況相同，并報(bào)告其中不同的部分。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

在所述模擬CMP設(shè)備運(yùn)行狀況不正常的情況下，判斷所述監(jiān)控報(bào)警功能能否在預(yù)設(shè)時(shí)間內(nèi)發(fā)出報(bào)警信息；

在所述模擬CMP設(shè)備不能在預(yù)設(shè)時(shí)間內(nèi)發(fā)出報(bào)警信息的情況下，發(fā)出調(diào)整所述硬件模組和所述硬件信息的通知。

8.一種CMP設(shè)備模擬測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括：

設(shè)備搭建模塊，初始化硬件模組，并配置所述硬件模組的硬件信息；所述硬件信息至少包括信道信息和運(yùn)行數(shù)值，所述硬件模組與所述硬件信息存放于模擬共享內(nèi)存中以保證信息的唯一性；

設(shè)備狀態(tài)獲取模塊，啟動(dòng)由所述硬件模組搭建的模擬CMP設(shè)備，并獲取所述信道信息中輸出點(diǎn)的輸出值；

設(shè)備狀態(tài)診斷模塊，根據(jù)所述輸出值確定所述模擬CMP設(shè)備的運(yùn)行狀況，所述輸出值存放于所述模擬共享內(nèi)存中；

監(jiān)控功能測(cè)試模塊，在所述模擬CMP設(shè)備運(yùn)行狀況正常的情況下，修改至少一個(gè)所述運(yùn)行數(shù)值為異常值，并根據(jù)所述輸出點(diǎn)的新輸出值檢測(cè)監(jiān)控報(bào)警功能的響應(yīng)情況。

9.一種電子設(shè)備，其特征在于，包括：

存儲(chǔ)器和處理器，所述存儲(chǔ)器和所述處理器之間互相通信連接，所述存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)指令，所述處理器通過執(zhí)行所述計(jì)算機(jī)指令，從而執(zhí)行如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的方法。

10.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)指令，所述計(jì)算機(jī)指令用于使所述計(jì)算機(jī)從而執(zhí)行如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的方法。