[發明專利]一種光學轉移裝置及多層微納器件加工方法

在審

• 申請號: 202110872123.4
• 申請日: 2021-07-30
• 公開（公告）號: CN113534432A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 史剛;吳超;陳千雪;張立源
• 申請（專利權）人: 南方科技大學
• 主分類號: G02B21/34
• 分類號: G02B21/34;G02B21/26;G02B21/30
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 張英鳳

本發明涉及微納加工技術領域，公開了一種光學轉移裝置及多層微納器件加工方法，光學轉移裝置包括第一調節機構、第二調節機構和顯微成像系統。第一調節機構中，第一位移平臺能夠對第一載物臺進行可控、可量化的移動。第二調節機構中，第二位移平臺能夠對第二載物臺進行可控、可量化的移動。因此，在第一調節機構和第二調節機構的作用下，第一樣品和第二樣品能夠相互對齊，并且，在驅使第一載物臺和第二載物臺移動的過程中，通過顯微成像系統實時顯示第一樣品的形貌，從而可視化地實現微區貼裝，克服了當前轉移裝置參數無法量化和精細控制的缺點，減少人為因素的影響，從而提高效率和質量。

技術領域

本發明涉及微納加工技術領域，尤其是涉及一種光學轉移裝置及多層微納器件加工方法。

背景技術

隨著電子元器件進入納米尺度，二維層狀材料具有巨大的優勢，層狀材料異質結器件具有諸多傳統器件不具有的奇異性質，通過設計異質結構可以實現特定的器件功能，因此，擴展對該材料功能的開發，將會對未來電子元器件領域產生積極的影響。目前，制作這類異質結器件需要利用微區光學對準設備，然而公知的光學轉移平臺由手動光學臺及顯微鏡構成，通過手動調節實現對準，因此，器件制作過程中工藝參數不能量化和精細化，同時也會由于人為失誤因素導致高失敗率，也無法滿足高效制作器件的要求。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本發明提出一種光學轉移裝置，能夠對待貼裝樣品進行可量化的移動操作，減少人為因素的影響，從而提高效率和質量。

本發明還提出一種應用于該光學轉移裝置的多層微納器件加工方法。

本發明第一方面實施例提供了一種光學轉移裝置，包括：

第一調節機構，包括第一載物臺和第一光學位移平臺，所述第一載物臺用于固定待貼裝的第一樣品，所述第一光學位移平臺連接于所述第一載物臺，用于移動所述第一載物臺以調節第一樣品的位置；

顯微成像系統，包括顯微鏡和成像模塊，所述顯微鏡能夠對齊于所述第一載物臺上的所述第一樣品，所述成像模塊用于對所述顯微鏡的成像可視化顯示；

第二調節機構，包括第二載物臺和第二光學位移平臺，所述第二載物臺包括壓電陶瓷位移臺和固定組件，所述固定組件連接于所述壓電陶瓷位移臺，用于固定待貼裝的第二樣品；所述壓電陶瓷位移臺連接于所述第二光學位移平臺，所述第二光學位移用于移動所述壓電陶瓷位移臺以使第二樣品位于所述顯微鏡和所述第一載物臺之間。

本發明實施例的光學轉移裝置至少具有如下有益效果：第一位移平臺能夠對第一載物臺進行可控、可量化的移動，第二位移平臺能夠對第二載物臺進行可控、可量化的移動，因此，在第一調節機構和第二調節機構的作用下，第一樣品和第二樣品能夠相互對齊，并且，在驅使第一載物臺和第二載物臺移動的過程中，通過成像模塊實時顯示第一樣品的形貌，從而可視化地實現微區貼裝，克服了當前轉移裝置參數無法量化和精細控制的缺點，減少人為因素的影響，從而提高效率和質量。

根據本發明一些實施例的光學轉移裝置，所述第一載物臺包括加熱臺，所述加熱臺連接于所述第一光學位移平臺，所述加熱臺上具有用于承載所述第一樣品的工作面，所述加熱臺用于加熱所述工作面上的所述第一樣品。

根據本發明一些實施例的光學轉移裝置，所述第一載物臺還包括旋轉臺，所述加熱臺連接于所述旋轉臺，所述旋轉臺連接于所述第一光學位移平臺，用于帶動所述加熱臺旋轉。

根據本發明一些實施例的光學轉移裝置，還包括溫控器，所述加熱臺內設置有加熱件，所述加熱件電連接于所述溫控器。

根據本發明一些實施例的光學轉移裝置，所述第一光學位移平臺為三軸位移平臺，能夠沿X、Y、Z三個方向移動所述第一載物臺。

根據本發明一些實施例的光學轉移裝置，所述第二光學位移平臺為三軸位移平臺，能夠沿X、Y、Z三個方向移動所述第二載物臺。