[發明專利]極紫外光光刻方法和系統

有效

• 申請號: 202110843419.3
• 申請日: 2021-07-26
• 公開（公告）號: CN113433804B
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 馬修泉;王長久;聞錦程;吳寒;王力波;孫克雄;馬新敏;陸培祥
• 申請（專利權）人: 廣東省智能機器人研究院
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 劉羚

1.一種極紫外光光刻方法，所述方法包括：

獲取極紫外光光刻請求；

根據所述極紫外光光刻請求生成液滴靶材，并生成所述液滴靶材對應的多路脈沖激光；

將所述多路脈沖激光聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等離子體化，獲取激光等離子體，所述多路脈沖激光同時作用于所述液滴靶材；

采集所述激光等離子體發射的符合預設要求的光作為光刻光源，基于所述光刻光源完成所述極紫外光光刻請求對應的光刻任務；

所述將所述多路脈沖激光聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等離子體化包括：

基于預設入射方向，將所述多路脈沖激光分別入射、并聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等離子體化；

所述基于預設入射方向，將所述多路脈沖激光分別入射、并聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等離子體化包括：

將按照預設入射方向分別入射的多路脈沖激光通過非相干疊加聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等離子體化；

所述采集所述激光等離子體發射的符合預設要求的光作為光刻光源之前，還包括：

獲取所述激光等離子體的漂移數據以及擴散數據；

根據所述漂移數據以及擴散數據確定所述液滴靶材的形態發展規律，基于所述液滴靶材的形態發展規律調整所述多路脈沖激光的功率、數量以及空間排列方式，以使所述激光等離子體呈現更利于收集其所發出光的形態，并得到修正后的激光等離子體；

所述采集所述激光等離子體發射的符合預設要求的光作為光刻光源包括：

采集所述修正后的激光等離子體發射的符合預設要求的光作為光刻光源。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述多路脈沖激光為對于所述液滴靶材，位于不同位置，入射角度各不相同的激光。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述多路脈沖激光由按照特定方式排列的多個光纖激光器來產生，所述特定排列方式用于使多路激光脈沖從不同的方向擊打液滴靶材。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述激光等離子體包括球殼形的激光等離子體以及月牙形的激光等離子體。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述激光等離子體的形態包括分離的等離子體團簇形態。

6.一種極紫外光光刻系統，其特征在于，所述系統包括：

液滴發生模塊，用于產生液滴靶材；

光纖激光器，用于生成脈沖激光；

光學聚焦模塊：用于將多臺所述光纖激光器發出的脈沖激光聚焦匯聚于所述液滴靶材；

光刻處理器模塊，用于獲取極紫外光光刻請求；根據所述極紫外光光刻請求控制所述液滴發生系統生成液滴靶材，并控制所述光纖激光器生成所述液滴靶材對應的多路脈沖激光；將所述多路脈沖激光聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等離子體化，獲取激光等離子體；采集所述激光等離子體發射的符合預設要求的光作為光刻光源，基于所述光刻光源完成所述極紫外光光刻請求對應的光刻任務，所述多路脈沖激光同時作用于所述液滴靶材；

所述光刻處理器模塊具體用于：基于預設入射方向，將所述多路脈沖激光分別入射、并聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等離子體化；

所述光刻處理器模塊具體用于：將按照預設入射方向分別入射的多路脈沖激光通過非相干疊加聚焦于所述液滴靶材，以使所述液滴靶材等離子體化；

所述光刻處理器模塊具體用于：獲取所述激光等離子體的漂移數據以及擴散數據；根據所述漂移數據以及擴散數據確定所述液滴靶材的形態發展規律，基于所述液滴靶材的形態發展規律調整所述多路脈沖激光的功率、數量以及空間排列方式，以使所述激光等離子體呈現更利于收集其所發出光的形態，并得到修正后的激光等離子體，采集所述修正后的激光等離子體發射的符合預設要求的光作為光刻光源。

7.根據權利要求6所述的系統，其特征在于，所述多路脈沖激光為對于所述液滴靶材，位于不同位置，入射角度各不相同的激光。