[發明專利]一種具有良好氣密性和高可靠安裝精度的離子源

在審

• 申請號: 202110778228.3
• 申請日: 2021-07-09
• 公開（公告）號: CN113453412A
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 石金水;陳宇航;張晨;王丹;鄧建軍;馬瑞利
• 申請（專利權）人: 四川玖誼源粒子科技有限公司
• 主分類號: H05H7/08
• 分類號: H05H7/08
• 代理公司: 成都東唐智宏專利代理事務所(普通合伙) 51261
• 代理人: 羅言剛

1.一種具有良好氣密性和高可靠安裝精度的離子源，其特征在于，包括：

陽極筒本體（1），所述陽極筒本體（1）安裝在離子源支座的左端；

所述陽極筒本體（1）的內部安裝有準直器本體（2）；

陰極桿（3），所述陰極桿（3）安裝在離子源支座上，且陰極桿（3）的內側設置有標準陶瓷墊片（5），并且標準陶瓷墊片（5）的內側設置有接線柱（6）。

2.根據權利要求1所述的一種具有良好氣密性和高可靠安裝精度的離子源，其特征在于：所述陽極筒本體（1）上還設置有一體式偏心孔,所述一體式偏心孔位于陽極筒本體內壁,所述準直器外壁具有與所述一體式偏心孔配合的凸起。

3.根據權利要求1所述的一種具有良好氣密性和高可靠安裝精度的離子源，其特征在于：所述陽極筒本體（1）底面設置有定位扁（8）。

4.根據權利要求1所述的一種具有良好氣密性和高可靠安裝精度的離子源，其特征在于：所述陽極筒本體（1）外側壁具有至少一對止口（7）。

5.根據權利要求1所述的一種具有良好氣密性和高可靠安裝精度的離子源，其特征在于：所述陰極桿（3）通過一對鎖緊螺釘（4）與標準陶瓷墊片（5）相連接，且用于定位的標準陶瓷墊片（5）在陰極桿（3）上下成中心對稱設置。

6.根據權利要求1所述的一種具有良好氣密性和高可靠安裝精度的離子源，其特征在于：所述離子源外殼具有粗糙密封區（9）,所述粗糙密封區為韌性絕緣材料包覆在外殼上形成。

7.根據權利要求1所述的一種具有良好氣密性和高可靠安裝精度的離子源，其特征在于：所述接線柱（6）位于所述粗糙密封區（9）末端，所述粗糙密封區（9）長度延長使接線柱（6）的位置到達離子源支座的氣水管路(11)的連接處。

8.根據權利要求1所述的一種具有良好氣密性和高可靠安裝精度的離子源，其特征在于：離子源支座的氣水管路(11)的連接處為低溫釬焊連接頭(10)。