[發明專利]探針針頭及靜電探針

有效

• 申請號: 202110769218.3
• 申請日: 2021-07-07
• 公開（公告）號: CN113447682B
• 公開（公告）日: 2022-11-08
• 發明（設計）人: 袁博達;許敏;聶林;王占輝;龍婷;劉灝;柯銳;龔少博
• 申請（專利權）人: 核工業西南物理研究院
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/073
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 唐邦英

1.靜電探針，其特征在于，包括探針針頭（1）、骨架和外殼（2）；

所述探針針頭（1）由同軸且直徑不同的圓柱體組成，包括針頭頭段（1-1）、針頭過渡段（1-2）、熱容池段（1-3）和針頭尾段（1-4），其中，針頭頭段（1-1）的直徑小于針頭過渡段（1-2）的直徑，針頭過渡段（1-2）的直徑小于熱容池段（1-3）的直徑，針頭尾段（1-4）的直徑小于熱容池段（1-3）的直徑，所述探針針頭采用石墨加工而成；

所述骨架安裝于外殼（2）內，用于固定探針針頭（1），所述骨架包括骨架頭段（5）、骨架中段（6）和骨架尾段（7），所述骨架頭段（5）、骨架中段（6）和骨架尾段（7）內設置有相互連通的第一通槽、第二通槽和第三通槽，所述第一通槽用于嵌入針頭過渡段（1-2）和熱容池段（1-3），所述第二通槽用于嵌入針頭尾段（1-4），所述針頭尾段（1-4）的端部與連接端子（8）連接，所述第三通槽用于引出連接端子（8），骨架中段（6）和骨架尾段（7）相配合夾緊接端子（8），相鄰探針針頭（1）之間、以及探針針頭（1）與外殼（2）之間互不接觸導通，所述針頭頭段（1-1）的端部凸出于外殼（2）。

2.根據權利要求1所述的靜電探針，其特征在于，所述針頭頭段（1-1）的直徑為2mm，針頭過渡段（1-2）的直徑為3.5mm，熱容池段（1-3）的直徑為4.5mm，所述針頭尾段（1-4）的直徑為2.5mm。

3.根據權利要求2所述的靜電探針，其特征在于，所述針頭頭段（1-1）的直徑為2mm，長為3mm～10mm；針頭過渡段（1-2）的直徑為3.5mm，長為5mm～10mm；熱容池段（1-3）的直徑為4.5mm，長為15～25mm；所述針頭尾段（1-4）直徑為2.5mm，長為5.5mm。

4.根據權利要求1所述的靜電探針，其特征在于，所述外殼（2）采用石墨制成，所述骨架采用氮化硼陶瓷制成。

5.根據權利要求1所述的靜電探針，其特征在于，還包括支撐筒（10）、絕緣墊片（11）和底座（4）；

所述支撐筒（10）設置在外殼（2）內用于支承骨架，所述支撐筒（10）的底部與底座（4）連接，所述支撐筒（10）和底座（4）之間設置有絕緣墊片（11）。

6.根據權利要求5所述的靜電探針，其特征在于，所述支撐筒（10）和底座（4）均采用不銹鋼制成，所述絕緣墊片（11）采用聚四氟乙烯制成。

7.根據權利要求5所述的靜電探針，其特征在于，所述骨架和支撐筒（10）之間通過緊固螺桿（9）連接。

8.根據權利要求5所述的靜電探針，其特征在于，所述底座（4）包括圓盤，所述圓盤的上端面設置有與之同軸的長方柱，所述長方柱與支撐筒（10）連接。

9.根據權利要求1所述的靜電探針，其特征在于，所述外殼（2）的頂部設置為階梯結構，不同的探針針頭（1）布置在不同的臺階上。