[發明專利]一種鈦靶材晶粒細化的方法及鈦靶材

在審

• 申請號: 202110758654.0
• 申請日: 2021-07-05
• 公開（公告）號: CN113481475A
• 公開（公告）日: 2021-10-08
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;周敏
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B21J5/00
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種鈦靶材晶粒細化的方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

(1)在400-500℃下對鈦靶材進行預熱；

(2)將步驟(1)所得鈦靶材進行三向鍛造；

(3)冷卻步驟(2)所得鈦靶材，得到晶粒尺寸為10-20μm的鈦靶材。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟(1)所述鈦靶材的晶粒尺寸為20-30μm。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，步驟(1)所述預熱在電阻式加熱爐中進行；

優選地，步驟(1)所述預熱的保溫時間為5-30min。

4.根據權利要求1-3任一項所述的方法，其特征在于，步驟(2)所述三向鍛造包括2-5個加工周期，每個加工周期包括依次進行的第一道次、第二道次與第三道次。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一道次具體為將鈦靶材沿著X軸方向墩粗至第一變形量，然后拉拔至原始尺寸；

優選地，所述第一變形量為40-60％。

6.根據權利要求4或5所述的方法，其特征在于，所述第二道次具體為將鈦靶材沿著Y軸方向墩粗至第二變形量，然后拉拔至原始尺寸；

優選地，所述第二變形量為40-60％。

7.根據權利要求4-6任一項所述的方法，其特征在于，所述第三道次具體為將鈦靶材沿著Z軸方向墩粗至第三變形量，然后拉拔至原始尺寸；

優選地，所述第三變形量為40-60％。

8.根據權利要求1-7任一項所述的方法，其特征在于，步驟(3)所述冷卻的方式包括水冷和/或空冷。

9.根據權利要求1-8任一項所述的方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

(1)在400-500℃的電阻式加熱爐中對晶粒尺寸為20-30μm的鈦靶材進行保溫時間為5-30min的預熱；

(2)將步驟(1)所得鈦靶材進行三向鍛造；所述三向鍛造包括2-5個加工周期，每個加工周期包括依次進行的第一道次、第二道次與第三道次；所述第一道次具體為將鈦靶材沿著X軸方向墩粗至變形量為40-60％，然后拉拔至原始尺寸；所述第二道次具體為將鈦靶材沿著Y軸方向墩粗至變形量為40-60％，然后拉拔至原始尺寸；所述第三道次具體為將鈦靶材沿著Z軸方向墩粗至變形量為40-60％，然后拉拔至原始尺寸；

(3)水冷和/或空冷步驟(2)所得鈦靶材，得到晶粒尺寸為10-20μm的鈦靶材。

10.一種利用如權利要求1-9任一項所述方法進行晶粒細化所得的鈦靶材。