[發明專利]多光斑零位偏差標定方法

在審

• 申請號: 202110750603.3
• 申請日: 2021-07-02
• 公開（公告）號: CN115561969A
• 公開（公告）日: 2023-01-03
• 發明（設計）人: 馮建斌;張建新
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 鄭星

1.一種多光斑零位偏差標定方法，其特征在于，包括：

提供基板，所述基板上具有至少四個測量點；

調焦調平系統將同一光束依次投影到每個所述測量點上進行第一次測量，所述光束包含至少兩個測量光斑，每次投影至所述測量點上時，同一個所述測量光斑與所述測量點對準，且至少獲取一個所述測量光斑測量到的所述基板上對應位置的第一位置信息；

將所述基板水平旋轉180°，所述調焦調平系統將所述光束依次投影到每個所述測量點上進行第二次測量，每次投影至所述測量點上時，同一個所述測量光斑與所述測量點對準，且至少獲取一個所述測量光斑測量到的所述基板上對應位置的第二位置信息；

利用每個所述測量點對應的所述第一位置信息和所述第二位置信息計算出每個所述測量光斑的零位偏差值。

2.如權利要求1所述的多光斑零位偏差標定方法，其特征在于，所述基板具有至少兩個測量點組，每個所述測量點組包括至少一對所述測量點，每對所述測量點相對所述基板的中心對稱設置，每個所述測量點組內的所有測量點的中心位于同一虛擬連線上，任意兩個所述測量點組的虛擬連線不重合。

3.如權利要求1所述的多光斑零位偏差標定方法，其特征在于，所述第一位置信息及所述第二位置信息均為垂向高度值，在所述第一次測量與所述第二次測量中，每次投影至所述測量點上時，獲取所有測量光斑測量到的所述基板上對應位置的垂向高度值。

4.如權利要求3所述的多光斑零位偏差標定方法，其特征在于，將每個所述測量光斑測量到的所有所述垂向高度值取平均值，得到每個所述測量光斑的平均垂向高度值；

將所有測量光斑的平均垂向高度值中的最大者與最小者取平均值，得到理想垂向高度值；

將每個測量光斑的平均垂向高度值與理想垂向高度值作差，得到每個所述測量光斑的零位偏差值。

5.如權利要求1所述的多光斑零位偏差標定方法，其特征在于，所述測量點的數量至少為五個，所述測量點在所述基板上隨機分布。

6.如權利要求1所述的多光斑零位偏差標定方法，其特征在于，獲取所述基板上對應位置的第二位置信息之后，還包括：

選中任一所述測量點，將選中的所述測量點依次移動到所有所述測量光斑下進行第三次測量，獲取每個所述測量光斑測量到的所述基板上對應位置的第三位置信息。

7.如權利要求6所述的多光斑零位偏差標定方法，其特征在于，所述第一位置信息、所述第二位置信息及所述第三位置信息均包括水平坐標值及垂向坐標值，在所述第一次測量與所述第二次測量中，每次投影至所述測量點上時，獲取與所述測量點對準的測量光斑測量到的所述基板上對應位置的水平坐標值及垂向坐標值。

8.如權利要求7所述的多光斑零位偏差標定方法，其特征在于，根據與所述測量點對準的測量光斑測量到的水平坐標值及垂向坐標值計算出水平方向上的傾斜角度改變量；

根據所述傾斜角度改變量及所述第三次測量時每個所述測量光斑測量到的水平坐標值及垂向坐標值得到每個所述測量光斑的垂向高度修正值；

將所有測量光斑的垂向高度修正值中的最大者與最小者取平均值，得到理想垂向高度值；

將每個測量光斑的垂向高度修正值與理想垂向高度值作差，得到每個所述測量光斑的零位偏差值。