[發明專利]冷卻裝置及其冷卻方法

有效

• 申請號: 202110734701.8
• 申請日: 2021-06-30
• 公開（公告）號: CN113463021B
• 公開（公告）日: 2023-05-30
• 發明（設計）人: 楊超
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;F25D31/00
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 何志軍

本發明實施例公開了一種冷卻裝置及其冷卻方法；該冷卻裝置應用于蒸鍍設備，該冷卻裝置包括：主體部件，包括支撐構件和與該支撐構件連接的熱交換構件；彈性部件，與該主體部件連接且設置于該主體部件遠離該熱交換構件的一側，該彈性部件用于與待冷卻構件接觸；其中，該彈性部件與該主體部件構成閉合結構；本發明實施例通過將冷卻裝置的貼合一側設置為彈性部件，在對基板進行蒸鍍時，減少了冷卻裝置對基板的劃傷，加強冷卻裝置與基板的貼合，提高了對基板的工藝精度。

技術領域

本發明涉及顯示領域，具體涉及一種冷卻裝置及其冷卻方法。

背景技術

近些年，顯示領域的器件的工藝要求越來越高，在需要對基板進行蒸鍍時，將基板與掩膜版進行貼合，同時也需要冷卻裝置進行貼合降溫，冷卻裝置一般為金屬材質，在與基板進行貼合時，冷卻裝置容易劃傷基板，導致基板的結構性能損壞。

因此，亟需一種冷卻裝置及其冷卻方法以解決上述技術問題。

發明內容

本發明實施例提供一種冷卻裝置及其冷卻方法，可以緩解目前在與基板進行貼合時，冷卻裝置容易劃傷基板的技術問題。

本發明實施例提供一種冷卻裝置，應用于蒸鍍設備，所述冷卻裝置包括：

主體部件，包括支撐構件和與所述支撐構件連接的熱交換構件；

彈性部件，與所述主體部件連接且設置于所述主體部件遠離所述熱交換構件的一側，所述彈性部件用于與待冷卻構件接觸；

其中，所述彈性部件與所述主體部件構成閉合結構。

在一實施例中，所述冷卻裝置包括中心區及位于所述中心區外圍的邊緣區，在所述邊緣區至所述中心區的方向上，所述彈性部件的厚度逐漸減小。

在一實施例中，在所述中心區內，所述彈性部件包括向遠離所述冷卻裝置方向突出的曲面。

在一實施例中，所述冷卻裝置還包括連接于所述主體部件與所述彈性部件之間的可拆卸連接部件，所述可拆卸連接部件搭接在所述主體部件及所述彈性部件上。

在一實施例中，所述冷卻裝置還包括所述彈性部件與所述主體部件圍成的腔體，所述熱交換構件包括多個進氣管路和多個出氣管路，任一所述進氣管路及任一所述出氣管路與所述腔體連通。

在一實施例中，在俯視視角，所述主體部件的形狀為矩形，所述進氣管路在所述主體部件上的正投影靠近所述矩形的任一角，所述出氣管路在所述主體部件上的正投影靠近所述矩形的幾何中心。

在一實施例中，任一所述進氣管路位于所述腔體內的長度大于任一所述出氣管路位于所述腔體內的長度。

在一實施例中，所述冷卻裝置還包括位于所述腔體內的距離傳感單元，所述距離傳感單元靠近所述彈性部件一側，所述彈性部件包括透明材料。

在一實施例中，所述冷卻裝置還包括位于所述主體部件遠離所述彈性部件一側的磁體部件，在所述磁體部件的邊緣至所述磁體部件的中心的方向上，所述磁體部件的磁感應強度逐漸增大。

本發明實施例還提供了一種利用冷卻裝置的冷卻方法，所述冷卻裝置應用于蒸鍍設備，所述冷卻裝置包括：主體部件，包括支撐構件和與所述支撐構件連接的熱交換構件；彈性部件，與所述主體部件連接且設置于所述主體部件遠離所述熱交換構件的一側；其中，所述彈性部件與所述主體部件構成閉合結構；所述冷卻方法包括：

提供一掩膜版；

將基板與所述掩膜版對位貼合；

將所述冷卻裝置的所述彈性部件一側與所述基板對位貼合；

利用所述熱交換構件，將冷卻氣體充入所述冷卻裝置內，以使所述彈性部件向遠離所述冷卻裝置的方向突出。