[發(fā)明專利]冷卻裝置及其冷卻方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110734701.8
• 申請日: 2021-06-30
• 公開（公告）號: CN113463021B
• 公開（公告）日: 2023-05-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊超
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;F25D31/00
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 何志軍

1.一種冷卻裝置，應(yīng)用于蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述冷卻裝置包括：

主體部件，包括支撐構(gòu)件和與所述支撐構(gòu)件連接的熱交換構(gòu)件；

彈性部件，與所述主體部件連接且設(shè)置于所述主體部件遠離所述熱交換構(gòu)件的一側(cè)，所述彈性部件用于與待冷卻構(gòu)件接觸；

其中，所述彈性部件與所述主體部件圍成閉合的腔體結(jié)構(gòu)，所述冷卻裝置包括中心區(qū)及位于所述中心區(qū)外圍的邊緣區(qū)，在所述邊緣區(qū)至所述中心區(qū)的方向上，所述彈性部件的厚度逐漸減小，所述熱交換構(gòu)件包括多個進氣管路和多個出氣管路，任一所述進氣管路及任一所述出氣管路與所述腔體連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，在所述中心區(qū)內(nèi)，所述彈性部件包括向遠離所述冷卻裝置方向突出的曲面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻裝置還包括連接于所述主體部件與所述彈性部件之間的可拆卸連接部件，所述可拆卸連接部件搭接在所述主體部件及所述彈性部件上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，在俯視視角，所述主體部件的形狀為矩形，所述進氣管路在所述主體部件上的正投影靠近所述矩形的任一角，所述出氣管路在所述主體部件上的正投影靠近所述矩形的幾何中心。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，任一所述進氣管路位于所述腔體內(nèi)的長度大于任一所述出氣管路位于所述腔體內(nèi)的長度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻裝置還包括位于所述腔體內(nèi)的距離傳感單元，所述距離傳感單元靠近所述彈性部件一側(cè)，所述彈性部件包括透明材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻裝置還包括位于所述主體部件遠離所述彈性部件一側(cè)的磁體部件，在所述磁體部件的邊緣至所述磁體部件的中心的方向上，所述磁體部件的磁感應(yīng)強度逐漸增大。

8.一種利用冷卻裝置的冷卻方法，其特征在于，所述冷卻裝置應(yīng)用于蒸鍍設(shè)備，所述冷卻裝置包括：主體部件，包括支撐構(gòu)件和與所述支撐構(gòu)件連接的熱交換構(gòu)件；彈性部件，與所述主體部件連接且設(shè)置于所述主體部件遠離所述熱交換構(gòu)件的一側(cè)；其中，所述彈性部件與所述主體部件圍成閉合的腔體結(jié)構(gòu)；所述冷卻方法包括：

提供一掩膜版；

將基板與所述掩膜版對位貼合；

將所述冷卻裝置的所述彈性部件一側(cè)與所述基板對位貼合，所述冷卻裝置包括中心區(qū)及位于所述中心區(qū)外圍的邊緣區(qū)，在所述邊緣區(qū)至所述中心區(qū)的方向上，所述彈性部件的厚度逐漸減小，所述熱交換構(gòu)件包括多個進氣管路和多個出氣管路，任一所述進氣管路及任一所述出氣管路與所述腔體連通；

利用所述熱交換構(gòu)件，將冷卻氣體充入所述冷卻裝置內(nèi)，以使所述彈性部件向遠離所述冷卻裝置的方向突出。