[發(fā)明專利]硅片的移載方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110732152.0
• 申請日: 2021-06-29
• 公開（公告）號: CN113460689B
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 許明現(xiàn);谷士斌;蔡涔;胡林;馬勝濤;楊星星;盧正哲
• 申請（專利權(quán)）人: 東方日升（常州）新能源有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91;B65G47/74;H01L21/683
• 代理公司: 杭州華進(jìn)聯(lián)浙知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33250
• 代理人: 戴賢群

本發(fā)明涉及一種硅片的移載方法，包括以下步驟：第一移載機(jī)構(gòu)將硅片從第一載體取出并暫存在固定載臺上，固定載臺的上表面設(shè)有固定氣孔，硅片懸浮在固定載臺上方，第三移載機(jī)構(gòu)將固定載臺上的硅片移載到第二載體。該硅片的移載方法，將硅片從第一載體取出后暫存在固定載臺上，而固定載臺采用氣浮的方式承載硅片，可避免硅片接觸固定載臺而造成污染，如此，可保持硅片的潔凈。并且，固定載臺是固定不動的，因此，硅片能夠穩(wěn)定地暫放在固定載臺上方，也就是說，硅片從第一載體轉(zhuǎn)移到第二載體時利用固定載臺作為中轉(zhuǎn)站，而該中轉(zhuǎn)站能夠穩(wěn)定承載硅片，從而可以保持硅片移載過程的穩(wěn)定，有利于提高移載效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及太陽能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅片的移載方法。

背景技術(shù)

硅片是太陽能電池的基礎(chǔ)元件，在生產(chǎn)制造太陽能電池時，通常需要將硅片從一個位置移動到另一個位置。其中，硅片放置在花籃中進(jìn)行制絨工序，制絨完成后硅片需要轉(zhuǎn)移到載板中進(jìn)行鍍膜工序，因此，硅片需要從花籃轉(zhuǎn)移到載板中。通常，硅片從花籃中取出后放置到皮帶上，通過皮帶輸送一段距離，最后通過其他移載機(jī)構(gòu)將硅片移載到載板上。為了避免硅片接觸皮帶而被污染，皮帶下設(shè)有氣浮箱，氣浮箱吹出氣體使得硅片保持懸浮狀態(tài)，皮帶轉(zhuǎn)動從而帶著硅片移動，從而實現(xiàn)硅片的懸浮傳輸。然而，由于氣浮箱固定不動，而皮帶轉(zhuǎn)動，通過皮帶輸送硅片時容易出現(xiàn)輸送不穩(wěn)的情況，從而導(dǎo)致硅片的移載效率較低。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，有必要提供一種硅片的移載方法，能夠保持硅片移載過程的穩(wěn)定，提高移載效率。

本發(fā)明提供一種硅片的移載方法，包括以下步驟：

第一移載機(jī)構(gòu)將硅片從第一載體取出并暫存在固定載臺上，固定載臺的上表面設(shè)有固定氣孔，硅片懸浮在固定載臺上方，第三移載機(jī)構(gòu)將固定載臺上的硅片移載到第二載體。

在其中一個實施例中，所述固定載臺的數(shù)量為多個，多個所述固定載臺沿遠(yuǎn)離第一載體的方向排列成一排，所述第一移載機(jī)構(gòu)從第一載體取出單片硅片后放置在靠近第一載體的固定載臺上，第二移載機(jī)構(gòu)將固定載臺上的硅片朝遠(yuǎn)離第一載體的方向移動到其他固定載臺上。

在其中一個實施例中，第一移載機(jī)構(gòu)從第一載體獲取一片硅片，并將該硅片放置在第一個固定載臺上；

第二移載機(jī)構(gòu)將第一個固定載臺上的硅片轉(zhuǎn)移到第二個固定載臺上；

第一移載機(jī)構(gòu)繼續(xù)從第一載體獲取一片硅片，并將該硅片放置在第一個固定載臺上；

第二移載機(jī)構(gòu)將第一個和第二個固定載臺上的硅片同時轉(zhuǎn)移到第二個和第三個固定載臺上；

第一移載機(jī)構(gòu)繼續(xù)從第一載體獲取一片硅片，并將該硅片放置在第一個固定載臺上；

第二移載機(jī)構(gòu)將第一個、第二個和第三個固定載臺上的硅片同時轉(zhuǎn)移到第二個、第三個和第四個固定載臺上；

以此類推，

直到全部固定載臺上都承載有硅片。

在其中一個實施例中，所述第三移載機(jī)構(gòu)同時將多個固定載臺上的硅片一起移載到第二載體。

在其中一個實施例中，所述第三移載機(jī)構(gòu)將多個硅片從固定載臺移載到第二載體的過程中，調(diào)整多個硅片之間的間距。

在其中一個實施例中，所述第三移載機(jī)構(gòu)獲取距離第一載體最遠(yuǎn)的固定載臺上的硅片，并移載到第二載體。

在其中一個實施例中，從第一載體取出硅片時，第一移載機(jī)構(gòu)獲取第一載體中最靠下的一片硅片。

在其中一個實施例中，所述第二移載機(jī)構(gòu)從所述固定載臺下方靠近固定載臺，并從固定載臺上方將硅片移走。

在其中一個實施例中，所述第二移載機(jī)構(gòu)從所述固定載臺側(cè)部靠近固定載臺，并從固定載臺上方將硅片移走。