[發明專利]單晶爐石墨中軸管道透視窗裝置

在審

• 申請號: 202110731838.8
• 申請日: 2021-06-30
• 公開（公告）號: CN113308729A
• 公開（公告）日: 2021-08-27
• 發明（設計）人: 李小鋒;曹玉寶;李軍;李方;李美平;韓建峰;王建波;劉軍軍
• 申請（專利權）人: 連城凱克斯科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;G01N21/17
• 代理公司: 無錫蘇元專利代理事務所(普通合伙) 32471
• 代理人: 吳忠義

本發明公開了單晶爐石墨中軸管道透視窗裝置，包括石墨中軸和管道，管道套接于石墨中軸的上部，管道下端通過固定件固定連接于石墨中軸的表面，管道的旁側兩側均開設有安裝孔，安裝孔內均安裝有透視窗，其中一個透視窗遠離石墨中軸的一側設置有激光發射器，另一個透視窗遠離石墨中軸的一側設置有激光接收器，本發明所達到的有益效果包括：本發明設置有透視窗、激光發射器和激光接收器，當石墨中軸氧化變細時，激光發射器發射光線穿過透視窗會被相對的激光接收器接收，激光接收器會將信號傳輸至警報器，使得警報器發出警報提醒使用者，可以及時提醒操作者石墨中軸已經被氧化，采取措施，降低安全風險，減少資源浪費。

技術領域：

本發明屬于晶棒生產設備技術領域，特別涉及單晶爐石墨中軸管道透視窗裝置。

背景技術：

單晶爐是用于制造晶棒的設備，在晶棒制造過程中，一般通過單晶爐內的石墨加熱器將多晶材料熔化，再進行拉制，但晶棒制造過程中，石墨中軸可能會出現氧化現象，存在重大安全事故的風險和材料的浪費。

現有技術下，單晶爐上沒有設置監測設備，無法在生產時及時知曉石墨中軸是否氧化，可能存在重大風險，導致不必要的資源浪費。

發明內容：

本發明的目的就在于為了解決上述問題而提供單晶爐石墨中軸管道透視窗裝置，解決了單晶爐上沒有設置監測設備，無法在生產時及時知曉石墨中軸是否氧化變細，造成重大安全隱患和資源浪費等缺點。

為了解決上述問題，本發明提供了一種技術方案：

單晶爐石墨中軸管道透視窗裝置，包括石墨中軸和管道，所述管道套接于石墨中軸的上部，所述管道下端通過固定件固定連接于石墨中軸的表面，所述管道的旁側兩側均開設有安裝孔，所述安裝孔內均安裝有透視窗，其中一個所述透視窗遠離石墨中軸的一側設置有激光發射器，另一個所述透視窗遠離石墨中軸的一側設置有激光接收器。

優選的，兩個所述安裝孔相互靠近的一側孔徑小于兩個安裝孔相互遠離的一側孔徑，所述安裝孔的兩側均開設為階梯型，每個所述透視窗靠近石墨中軸的一側均貼合于相應的安裝孔的兩側階梯型轉角處，每個所述透視窗的邊緣兩側中部均設置有固定機構。

優選的，所述固定機構均包括固定邊框，每個所述固定邊框均固定連接于相應的透視窗邊緣，所述固定邊框的兩側中部均螺紋連接有螺栓，每個所述螺栓均貫穿固定邊框且螺紋連接于相應的安裝孔的階梯型孔壁處，每個所述透視窗均與石墨中軸的縱向中軸線平行設置，兩個所述透視窗相對設置于同一高度。

優選的，其中一個所述透視窗遠離石墨中軸的一側中部固定連接有一號安裝套筒，所述激光發射器安裝于一號安裝套筒的內部，所述激光發射器的發射端與相應的透視窗中部相對，另一個所述透視窗遠離石墨中軸的一側中部固定連接有二號安裝套筒，所述激光接收器安裝于二號安裝套筒的內部，所述激光接收器的接收端與相應的透視窗中部相對，所述激光發射器的發射端與激光接收器的接收端相對設置。

優選的，所述一號安裝套筒與二號安裝套筒的筒壁兩側均開設有側孔，所，所述一號安裝套筒上的兩個限位機構分別設置于激光發述側孔內均設置有限位機構射器的兩側，所述二號安裝套筒上的兩個限位機構分別設置于激光接收器的兩側。

優選的，所述限位機構均包括內塊，每對所述內塊分別固定連接于相應的一對側孔內壁相互遠離的一側，所述內塊的中部均滑動連接有連接桿，每對所述連接桿相互靠近的一端均固定連接有限位塊，所述連接桿上均套接有彈簧，每個所述彈簧均設置于相應的限位塊與內塊之間，每對所述連接桿相互遠離的一端均固定連接有握把，所述握把均設置于相應的側孔外部，所述激光接收器的兩側中部夾持于一對限位塊之間，所述激光發射器的兩側夾持于另一對限位塊之間。

優選的，所述管道的一側中下部表面安裝有警報器，所述警報器的控制器與激光接收器電性連接。

本發明的有益效果包括：