[發(fā)明專利]一種靶材粗糙度的監(jiān)測(cè)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110721511.2
• 申請(qǐng)日: 2021-06-28
• 公開（公告）號(hào): CN113340261A
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學(xué)澤;陳麗娜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B21/30
• 分類號(hào): G01B21/30;G01B11/30;C23C14/35;C23C14/34
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種靶材粗糙度的監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述監(jiān)測(cè)方法包括如下步驟：

(1)圓形靶材的濺射面均分為至少4個(gè)扇形區(qū)域；

(2)分別對(duì)每個(gè)扇形區(qū)域的熔射區(qū)域進(jìn)行測(cè)量，記錄每個(gè)扇形區(qū)域的Ra與Rz值；

(3)步驟(2)測(cè)量數(shù)值與預(yù)設(shè)值進(jìn)行對(duì)比，當(dāng)至少1個(gè)測(cè)量數(shù)據(jù)偏離預(yù)設(shè)值時(shí)，判定靶材粗糙度不合格；測(cè)量值均在預(yù)設(shè)值范圍內(nèi)時(shí)，判定靶材粗糙度合格。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，將圓形靶材的濺射面均分為4-8個(gè)扇形區(qū)域。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，將圓形靶材的濺射面均分為4個(gè)扇形區(qū)域。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述Ra的預(yù)設(shè)值為12-15μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述Rz的預(yù)設(shè)值為70-100μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，步驟(2)所述測(cè)量為使用粗糙度檢測(cè)儀進(jìn)行測(cè)量。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述粗糙度檢測(cè)儀測(cè)量數(shù)據(jù)傳輸至MES系統(tǒng)，當(dāng)某一扇形區(qū)域的靶材粗糙度不合格時(shí)，MES系統(tǒng)輸出信號(hào)停止對(duì)圓形靶材的粗糙度進(jìn)行檢測(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，對(duì)每個(gè)扇形區(qū)域的熔射區(qū)域進(jìn)行測(cè)量之前，還包括對(duì)圓形靶材進(jìn)行熱處理的步驟。

9.根據(jù)權(quán)利要求8任一項(xiàng)所述的監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述熱處理為對(duì)熔射區(qū)域進(jìn)行加熱處理，加熱處理的溫度為200-300℃。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述監(jiān)測(cè)方法包括如下步驟：

(1)圓形靶材的濺射面均分為至少4個(gè)扇形區(qū)域；

(2)對(duì)圓形靶材的進(jìn)行熔射區(qū)域進(jìn)行加熱處理，加熱處理的溫度為200-300℃，然后使用粗糙度檢測(cè)儀分別對(duì)每個(gè)扇形區(qū)域的熔射區(qū)域進(jìn)行測(cè)量，記錄每個(gè)扇形區(qū)域的Ra與Rz值；

(3)步驟(2)測(cè)量數(shù)值傳輸至MES系統(tǒng)，與預(yù)設(shè)值進(jìn)行對(duì)比，測(cè)量值均在預(yù)設(shè)值范圍內(nèi)時(shí)，判定靶材粗糙度合格；當(dāng)至少1個(gè)測(cè)量數(shù)據(jù)偏離預(yù)設(shè)值時(shí)，判定靶材粗糙度不合格，同時(shí)MES系統(tǒng)輸出信號(hào)停止對(duì)圓形靶材的粗糙度進(jìn)行檢測(cè)。