[發明專利]自動檢測測試通道的校驗圖形結構及測試方法

在審

• 申請號: 202110719072.1
• 申請日: 2021-06-28
• 公開（公告）號: CN113506755A
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 鐘禕蕾;李堅生;張祎
• 申請（專利權）人: 上海華虹宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 焦健

1.一種自動檢測測試通道的校驗圖形結構，其特征在于：在晶圓上劃分一個獨立的結構區域，所述校驗圖形結構包含有多個PAD，所述的多個PAD等距排列，各個PAD之間采用電阻結構進行連接。

2.如權利要求1所述的自動檢測測試通道的結構，其特征在于：所述的電阻結構為由多晶硅導線形成的電阻。

3.如權利要求1所述的自動檢測測試通道的結構，其特征在于：所述的校驗圖形結構是放置于晶圓上的劃片槽內，所述的PAD的排布不僅限于直線排列，只要與原有的測試圖形結構的測試點或者探針卡相匹配即可。

4.如權利要求1所述的自動檢測測試通道的結構，其特征在于：所述的校驗圖形結構中PAD的個數由相關的工藝決定，PAD之間等距排列，且PAD之間的電阻結構的參數保持一致。

5.一種自動檢測測試通道的方法，其特征在于：在工藝監控系統測試結構中增加一條電阻校驗圖形，所述電阻校驗圖形包含有多個PAD，PAD之間采用電阻結構連接；

在測試機臺的測試程序中增加所述電阻校驗圖形的測試項目并優先測試，進行規格管控；

當測試通道發生異常時，針對電阻校驗圖形的測試相關項目連續測試失敗，則觸發測試機臺自動暫停，測試系統根據失效位置判定可疑通道，記錄測試結果并啟動相關的缺陷診斷程序；

操作員根據診斷結果判定下一步的處理方式。

6.如權利要求5所述的自動檢測測試通道的測試方法，其特征在于：所述電阻校驗圖形的測試項目為方塊電阻測試。

7.如權利要求5所述的自動檢測測試通道的測試方法，其特征在于：所述的測試系統根據電阻校驗圖形中的失效電阻位置來判定哪些通道可能存在問題，劃為可疑通道。

8.如權利要求5所述的自動檢測測試通道的測試方法，其特征在于：所述的測試通道發生異常，是指當前測試的通道的方塊電阻明顯異于其他通道的值，或者是未測到方塊電阻值。

9.如權利要求5所述的自動檢測測試通道的測試方法，其特征在于：操作員根據診斷結果決定選擇繼續測試或者是中斷測試；若中斷測試，則將已測數據進行上傳，將數據存儲到文件。