[發明專利]一種免光刻快速制備微流控芯片的方法在審
| 申請號: | 202110716620.5 | 申請日: | 2021-06-25 |
| 公開(公告)號: | CN113289703A | 公開(公告)日: | 2021-08-24 |
| 發明(設計)人: | 李穎;覃珊珊;楊運煌;胡銳;劉買利 | 申請(專利權)人: | 中國科學院精密測量科學與技術創新研究院 |
| 主分類號: | B01L3/00 | 分類號: | B01L3/00 |
| 代理公司: | 武漢宇晨專利事務所(普通合伙) 42001 | 代理人: | 江麗麗 |
| 地址: | 430071 湖*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 光刻 快速 制備 微流控 芯片 方法 | ||
1.一種免光刻快速制備微流控芯片的方法,其特征在于,包括以下步驟:
(1)激光切割膠帶:根據需要選擇不同層數的膠帶貼在平板上,利用激光切割膠帶形成具有微通道的結構;
(2)制備陽模:將具有微通道結構的膠帶轉移至干凈的基片上,然后在膠帶的微結構處均勻涂上正光刻膠,待光刻膠固定后移走膠帶,得到正光刻膠陽模;
(3)澆注PDMS:將PDMS和固化劑均勻混合并排氣泡后澆注到正光刻膠陽模上,待PDMS固化后將制得的PDMS板從陽模上切下,打孔、封接得到PDMS芯片。
2.根據權利要求1所述的免光刻快速制備微流控芯片的方法,其特征在于,所述基片為平整的板塊,優選硅片或載玻片。
3.根據權利要求1所述的免光刻快速制備微流控芯片的方法,其特征在于,所述PDMS與固化劑比例為10:1。
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