[發(fā)明專利]邊緣發(fā)射的半導(dǎo)體激光器和這種半導(dǎo)體激光器的運(yùn)行方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110710814.4
• 申請日: 2018-06-05
• 公開（公告）號: CN113555768A
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 彼得·富克斯
• 申請（專利權(quán)）人: 歐司朗光電半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01S5/028
• 分類號: H01S5/028;H01S5/323;H01S5/40;H01S5/30;H01S5/343
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 丁永凡;支娜

在一個實施方式中，邊緣發(fā)射的半導(dǎo)體激光器(1)包括半導(dǎo)體層序列(2)，所述半導(dǎo)體層序列具有用于產(chǎn)生激光輻射(L)的有源區(qū)(22)。在半導(dǎo)體層序列(2)上形成用于耦合輸出和/或反射激光輻射(L)的棱面(3)。直接在棱面(3)上存在用于保護(hù)棱面(3)防止損壞的保護(hù)層序列(4)。保護(hù)層序列(4)沿背離半導(dǎo)體層序列(2)的方向具有單晶的起始層(41)、具有至少一種14族材料的中間層(42)以及至少一個由氮化物、氧化物或氮氧化物構(gòu)成的封閉層(43)。起始層(41)、中間層(42)以及封閉層(43)成對地由不同材料體系制造。

本發(fā)明申請是申請日期為2018年6月5日、申請?zhí)枮椤?01880038122.6”、發(fā)明名稱為“邊緣發(fā)射的半導(dǎo)體激光器和這種半導(dǎo)體激光器的運(yùn)行方法”的發(fā)明專利申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

提出一種邊緣發(fā)射的半導(dǎo)體激光器。此外，提出一種用于這種半導(dǎo)體激光器的運(yùn)行方法。

背景技術(shù)

在文獻(xiàn)US 2009/0257466A1中提出一種具有棱面鈍化部的光電子半導(dǎo)體激光器。

文獻(xiàn)DE 10 2009 054 912 A1涉及一種高功率激光二極管的鈍化部。

發(fā)明內(nèi)容

要實現(xiàn)的目的在于，提出一種半導(dǎo)體激光器，其在光學(xué)功率大的情況下具有高的使用壽命。

所述目的尤其通過具有獨(dú)立權(quán)利要求的特征的半導(dǎo)體激光器和通過運(yùn)行方法實現(xiàn)。優(yōu)選的改進(jìn)方案是從屬權(quán)利要求的主題。

根據(jù)至少一個實施方式，半導(dǎo)體激光器是邊緣發(fā)射的激光器。這例如意味著，在運(yùn)行中產(chǎn)生的激光輻射基本上垂直于半導(dǎo)體激光器的半導(dǎo)體層序列的生長方向引導(dǎo)。半導(dǎo)體激光器的放射光的面可以平行于或近似平行于生長方向定向。

尤其，半導(dǎo)體激光器中的諧振器路段垂直于生長方向伸展。

根據(jù)至少一個實施方式，半導(dǎo)體層序列設(shè)立用于產(chǎn)生激光輻射。為此，半導(dǎo)體層序列優(yōu)選具有一個或多個有源區(qū)。在至少一個有源區(qū)中經(jīng)由載流子復(fù)合，即電致發(fā)光產(chǎn)生激光輻射。

半導(dǎo)體層序列優(yōu)選基于III-V族化合物半導(dǎo)體材料。半導(dǎo)體材料例如是氮化物化合物半導(dǎo)體材料，如Al_nIn_1-n-mGa_mN，或者是磷化物化合物半導(dǎo)體材料，如Al_nIn_1-n-mGa_mP，或者也是砷化物化合物半導(dǎo)體材料，如Al_nIn_1-n-mGa_mAs或如Al_nGa_mIn_1-n-mAs_kP_1-k，其中分別有0≤n≤1,0≤m≤1并且n+m≤1以及0≤k＜1。優(yōu)選地，在此對于半導(dǎo)體層序列的至少一個層或?qū)τ谒袑舆m用0＜n≤0.8，0.4≤m＜1并且n+m≤0.95以及0＜k≤0.5。在此，半導(dǎo)體層序列可以具有摻雜物以及附加的組成部分。為了簡單，然而僅給出半導(dǎo)體層序列的晶格的主要組成部分，即Al、As、Ga、In、N或P，即使這些主要組成部分可以部分地由少量其他物質(zhì)替代和/或補(bǔ)充時也如此。

優(yōu)選地，半導(dǎo)體層序列基于材料體系A(chǔ)lInGaAs，如上文所定義那樣。

根據(jù)至少一個實施方式，半導(dǎo)體激光器在半導(dǎo)體層序列上具有至少一個棱面。棱面設(shè)立用于將激光輻射耦合輸出和/或反射。尤其，在半導(dǎo)體層序列上在彼此相對置的側(cè)面上存在兩個棱面，所述棱面限定用于激光輻射的諧振器。

根據(jù)至少一個實施方式，半導(dǎo)體激光器包含一個或多個保護(hù)層序列。至少一個保護(hù)層序列設(shè)立用于保護(hù)棱面防止損壞。優(yōu)選地，保護(hù)層序列直接位于棱面上。可能的是，在每個設(shè)立用于將激光輻射耦合輸出和/或反射的棱面上安置有保護(hù)層序列。