[發(fā)明專利]一種智能電網(wǎng)用晶閘管的晶體圓片旋轉(zhuǎn)腐蝕裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110683374.8 | 申請日: | 2021-06-21 |
| 公開(公告)號: | CN113539896A | 公開(公告)日: | 2021-10-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王啟勝 | 申請(專利權(quán))人: | 王啟勝 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 454002 河南省焦作市*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 智能 電網(wǎng) 晶閘管 晶體 旋轉(zhuǎn) 腐蝕 裝置 | ||
本發(fā)明涉及一種智能電網(wǎng)領(lǐng)域,尤其涉及一種智能電網(wǎng)用晶閘管的晶體圓片旋轉(zhuǎn)腐蝕裝置。技術(shù)問題為:提供一種智能電網(wǎng)用晶閘管的晶體圓片旋轉(zhuǎn)腐蝕裝置。本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種智能電網(wǎng)用晶閘管的晶體圓片旋轉(zhuǎn)腐蝕裝置,包括有預(yù)處理單元、去毛邊單元和循環(huán)腐蝕單元;去毛邊單元與循環(huán)腐蝕單元相連接。本發(fā)明通過對倒邊之后的晶體圓片進(jìn)行去毛邊的操作,其中通過對圓片采用線動夾取的方式,祛除倒角后晶體圓片上殘留的碎渣,其次,對圓片上的毛邊進(jìn)去旋轉(zhuǎn)式祛除,可以使得后續(xù)對圓片的祛除氧化物的腐溫和,同時(shí)可以減少腐蝕液的消耗,有效提高晶體圓片的加工效率。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種智能電網(wǎng)領(lǐng)域,尤其涉及一種智能電網(wǎng)用晶閘管的晶體圓片旋轉(zhuǎn)腐蝕裝置。
背景技術(shù)
晶閘管是晶體閘流管的簡稱,又稱做可控硅整流器,能在高電壓、大電流條件下工作,且其工作過程可以控制,廣泛應(yīng)用于可控整流、交流調(diào)壓、無觸點(diǎn)電子開關(guān)、逆變及變頻等電子電路中。
目前在晶體圓片的制作的過程中,需要對圓片進(jìn)行倒角和腐蝕的操作,但由于在晶體圓片制作過程中,需要對晶體圓片進(jìn)行磨角,這會使得晶體圓片在磨角的過程中產(chǎn)生磨邊毛刺等,磨邊毛刺會使得腐蝕過程更加長,且腐蝕液的消耗也更加多,同時(shí)也因?yàn)槟ミ吤虝沟酶g產(chǎn)生嚴(yán)重的腐蝕坑,影響晶體圓片的封裝過程,其次,當(dāng)晶體圓片在進(jìn)行腐蝕的過程中,往往因?yàn)榫w薄片與夾持裝置接觸的部位難以接受到腐蝕,使得表面上的氧化物質(zhì)難以去除,在對晶體圓片的使用效果造成無法精確控制的后果,無法滿足日常生產(chǎn)生活上的使用需求。
綜上,需要研發(fā)一種智能電網(wǎng)用晶閘管的晶體圓片旋轉(zhuǎn)腐蝕裝置,來克服上述問題。
發(fā)明內(nèi)容
為了克服由于在晶體圓片制作過程中,需要對晶體圓片進(jìn)行磨角,這會使得晶體圓片在磨角的過程中產(chǎn)生磨邊毛刺等,磨邊毛刺會使得腐蝕過程更加長,且腐蝕液的消耗也更加多,同時(shí)也因?yàn)槟ミ吤虝沟酶g產(chǎn)生嚴(yán)重的腐蝕坑,影響晶體圓片的封裝過程,其次,當(dāng)晶體圓片在進(jìn)行腐蝕的過程中,往往因?yàn)榫w薄片與夾持裝置接觸的部位難以接受到腐蝕,使得表面上的氧化物質(zhì)難以去除,在對晶體圓片的使用效果造成無法精確控制的后果,無法滿足日常生產(chǎn)生活上的使用需求的缺點(diǎn),技術(shù)問題為:提供一種智能電網(wǎng)用晶閘管的晶體圓片旋轉(zhuǎn)腐蝕裝置。
本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種智能電網(wǎng)用晶閘管的晶體圓片旋轉(zhuǎn)腐蝕裝置,包括有底架、預(yù)處理單元、去毛邊單元、循環(huán)腐蝕單元、控制屏、第一電動滑軌、電動滑塊、電動升降板、第二電動滑軌、電動載物臺、收集桶、承重座和防滑墊;底架與預(yù)處理單元相連接;底架與去毛邊單元相連接;底架與循環(huán)腐蝕單元相連接;底架與控制屏相連接;底架與第一電動滑軌相連接;底架與第二電動滑軌相連接;底架與承重座相連接;去毛邊單元與循環(huán)腐蝕單元相連接;第一電動滑軌與電動滑塊相連接;電動滑塊與電動升降板相連接;第二電動滑軌與電動載物臺相連接;電動載物臺與收集桶相連接;承重座與防滑墊相連接。
作為本發(fā)明的優(yōu)選技術(shù)方案,預(yù)處理單元包括有第一電動滑動撐、第二電動滑動撐、物料臺、第一電動推桿、擋板、雙腳滑架、風(fēng)機(jī)、第一電動滑桿、第二電動滑桿、第一電動推板、第二電動推板、第一限位繩、第二限位繩、電動傳送帶、彈簧桿和限位板;第一電動滑動撐與底架進(jìn)行滑動連接;第二電動滑動撐與底架進(jìn)行滑動連接;物料臺兩側(cè)分別與第一電動滑動撐和第二電動滑動撐進(jìn)行固接;物料臺側(cè)面設(shè)置有擋板;擋板與第一電動推桿進(jìn)行固接;第一電動推桿與底架進(jìn)行固接;擋板上面設(shè)置有雙腳滑架;擋板側(cè)面設(shè)置有電動傳送帶;雙腳滑架與兩組對稱設(shè)置的風(fēng)機(jī)進(jìn)行固接;雙腳滑架與第一電動滑桿進(jìn)行固接;雙腳滑架與第二電動滑桿進(jìn)行固接;雙腳滑架分別與第一限位繩和第二限位繩相連接;雙腳滑架與底架進(jìn)行滑動連接;第一電動推板兩側(cè)分別與第一電動滑桿和第二電動滑桿進(jìn)行滑動連接;第二電動推板兩側(cè)分別與第一電動滑桿和第二電動滑桿進(jìn)行滑動連接;第一電動滑桿至第二電動推板以雙腳滑架中心對稱設(shè)置有兩組;電動傳送帶與彈簧桿進(jìn)行滑動連接;彈簧桿與限位板進(jìn)行固接;彈簧桿與限位板以電動傳送帶中心對稱設(shè)置有兩組;電動傳送帶與底架進(jìn)行固接。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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