[發明專利]一種實現選擇性抽氣與再生的雙級低溫泵及其吸附再生方法

有效

• 申請號: 202110672802.7
• 申請日: 2021-06-17
• 公開（公告）號: CN113294315B
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發明（設計）人: 陳肇璽;楊慶喜;宋云濤;陸坤;胡建生;鄭金星;左桂忠
• 申請（專利權）人: 中國科學院合肥物質科學研究院
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08
• 代理公司: 合肥市浩智運專利代理事務所(普通合伙) 34124
• 代理人: 繆璐歡

1.一種實現選擇性抽氣與再生的雙級低溫泵，其特征在于：包括一級泵體、二級泵體和推動單元，所述一級泵體與二級泵體連通，所述推動單元包括一級推動單元和二級推動單元；

所述一級泵體包括一級泵殼、一級閥門和一級低溫冷板，所述一級泵殼上設有一級通孔，所述一級閥門蓋合在一級通孔上，所述一級低溫冷板位于一級泵殼內，所述一級推動單元與一級閥門連接，所述一級推動單元來回推動致使一級閥門開啟或閉合；所述一級低溫冷板的溫度降低，致使氣體冷凝，所述一級低溫冷板的溫度升高，致使氣體解吸；所述一級泵殼上設有一級再生排氣口；

所述二級泵體包括二級泵殼、二級閥門和二級低溫冷板，所述二級低溫冷板表面設有吸附劑；所述二級泵殼上設有二級通孔，所述二級通孔位于一級泵體與二級泵體的連通處，所述二級閥門蓋合在二級通孔上，所述二級低溫冷板設置在二級泵殼內，所述二級推動單元與二級閥門連接，所述二級推動單元來回推動致使二級閥門開啟或閉合；所述二級低溫冷板的溫度降低，致使氣體冷凝，所述二級低溫冷板的溫度升高，致使氣體解吸；所述二級泵殼上設有二級再生排氣口。

2.根據權利要求1所述的實現選擇性抽氣與再生的雙級低溫泵，其特征在于：所述一級通孔的四周設置一級凹槽，所述一級閥門位于一級通孔處，所述一級閥門包括一級閥蓋、一級閥門密封圈、一級閥門密封圈壓板、過渡法蘭和過渡法蘭密封圈；

所述一級閥蓋蓋合在一級通孔上，所述一級閥門密封圈位于一級閥蓋的四周與一級通孔之間，一級閥門密封圈壓板壓合在一級閥門密封圈上，過渡法蘭位于一級閥門密封圈壓板的頂端；所述一級閥門密封圈壓板與過渡法蘭之間可拆卸連接，所述過渡法蘭與一級凹槽之間可拆卸連接。

3.根據權利要求1所述的實現選擇性抽氣與再生的雙級低溫泵，其特征在于：所述一級泵體還包括一級輻射擋板和一級熱屏蔽罩，所述一級輻射擋板和一級熱屏蔽罩均位于一級泵殼內；

所述一級輻射擋板與一級閥門同軸，所述一級輻射擋板的個數為多個，多個一級輻射擋板同軸設置，多個一級輻射擋板堆疊形成柱型通道，相鄰一級輻射擋板側壁之間設有間隙；所述一級熱屏蔽罩套設在一級輻射擋板外。

4.根據權利要求1所述的實現選擇性抽氣與再生的雙級低溫泵，其特征在于：所述二級通孔的四周設置二級凹槽，所述二級閥門位于二級通孔處，所述二級閥門包括二級閥蓋、二級閥門密封圈和二級閥門密封圈壓板；

所述二級閥門密封圈位于二級閥蓋的四周與二級通孔之間，所述二級閥門密封圈壓板壓合在二級閥門密封圈上，所述二級閥門密封圈壓板與二級泵殼之間可拆卸連接。

5.根據權利要求1所述的實現選擇性抽氣與再生的雙級低溫泵，其特征在于：所述二級泵體還包括二級輻射擋板和二級熱屏蔽罩，所述二級輻射擋板和二級熱屏蔽罩均位于二級泵殼內；

所述二級輻射擋板與二級閥門同軸，所述二級輻射擋板的個數為多個，多個二級輻射擋板同軸設置，多個二級輻射擋板堆疊形成柱型通道，相鄰二級輻射擋板側壁之間設有間隙；所述二級熱屏蔽罩套設在二級輻射擋板外。

6.根據權利要求1所述的實現選擇性抽氣與再生的雙級低溫泵，其特征在于：所述推動單元還包括氣缸外泵殼和氣缸隔板，所述氣缸隔板用以將氣缸外泵殼分隔成一級推動空間和二級推動空間；

所述一級推動空間的氣缸外泵殼上設有一級氣口A，所述氣缸隔板上設有連通一級推動空間的一級氣口B；所述二級推動空間的氣缸外泵殼上設有二級氣口A，所述氣缸隔板上設有連通二級推動空間的二級氣口B；

所述一級推動單元包括一級氣缸活塞和一級閥桿，所述一級氣缸活塞位于一級推動空間內，所述一級閥桿的一端與一級閥蓋連接，所述一級閥桿的另一端與一級氣缸活塞連接；

所述二級推動單元包括二級氣缸活塞和二級閥桿，所述二級氣缸活塞位于二級推動空間內，所述二級閥桿套設在一級閥桿外側壁，所述一級閥桿與二級閥桿滑動連接，所述二級閥桿的一端與二級閥蓋連接，所述二級閥桿的另一端與二級氣缸活塞連接。

7.根據權利要求6所述的實現選擇性抽氣與再生的雙級低溫泵，其特征在于：所述一級推動單元還包括一級波紋管，一級波紋管套設在位于一級泵體內的一級閥桿外側壁。