[發(fā)明專利]光學鏡頭間距測量系統(tǒng)的共聚焦定焦裝置

有效

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• 申請日: 2021-06-15
• 公開（公告）號: CN113203364B
• 公開（公告）日: 2023-01-03
• 發(fā)明（設計）人: 邢利娜;高峰;何益;陳一巍;張欣;史國華
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州生物醫(yī)學工程技術研究所
• 主分類號: G01B11/14
• 分類號: G01B11/14;G01M11/02
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產(chǎn)權代理有限公司 11369
• 代理人: 賀杰

1.一種光學鏡頭間距測量系統(tǒng)的共聚焦定焦裝置，其特征在于，該光學鏡頭間距測量系統(tǒng)包括低相干掃頻光源、耦合器、參考臂、第一探測器和第一準直器，該共聚焦定焦裝置包括小孔反射鏡、調(diào)焦透鏡、聚焦透鏡、針孔板和第二探測器；

所述低相干掃頻光源發(fā)出的光經(jīng)過所述耦合器后被分為樣品光和參考光，參考光進入所述參考臂后被反射沿原路返回，樣品光進入所述第一準直器被準直為平行光，然后透過所述小孔反射鏡后被所述調(diào)焦透鏡聚焦至待測的樣品；

樣品發(fā)出的樣品反射光經(jīng)所述調(diào)焦透鏡收集后，其中一部分樣品反射光透過所述小孔反射鏡，并經(jīng)所述第一準直器后進入所述耦合器，與返回的考光干涉，然后被所述第一探測器接收；其中的另一部分樣品反射光被所述小孔反射鏡反射，然后被所述聚焦透鏡聚焦至所述針孔板，經(jīng)所述針孔板過濾掉離焦光后被所述第二探測器接收；

所述小孔反射鏡為中間帶有橢圓孔的平面反射鏡；

所述小孔反射鏡為中心具有小孔且小孔外周鍍有反射膜的玻璃平片。

2.根據(jù)權利要求1所述的光學鏡頭間距測量系統(tǒng)的共聚焦定焦裝置，其特征在于，所述小孔反射鏡為鍍有反射膜的玻璃平片，且該玻璃平片中心具有的未鍍膜的可透光的小孔區(qū)域。

3.根據(jù)權利要求1-2中任意一項所述的光學鏡頭間距測量系統(tǒng)的共聚焦定焦裝置，其特征在于，所述小孔反射鏡與第一準直器出射的平行光之間的夾角為45°。

4.根據(jù)權利要求1所述的光學鏡頭間距測量系統(tǒng)的共聚焦定焦裝置，其特征在于，所述調(diào)焦透鏡為液體變焦透鏡、機械位移透鏡或者機械位移透鏡組。

5.根據(jù)權利要求1所述的光學鏡頭間距測量系統(tǒng)的共聚焦定焦裝置，其特征在于，所述參考臂包括沿光路依次設置的第二準直器、色散匹配棱鏡和可移動平面反射鏡，所述耦合器出射的參考光依次經(jīng)過所述第二準直器、色散匹配棱鏡后被所述平面反射鏡反射，然后沿原路返回，依次經(jīng)過所述色散匹配棱鏡、第二準直器后返回至所述耦合器。