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[發明專利]標記位置設定方法及裝置有效

專利信息
申請號: 202110643901.2 申請日: 2021-06-09
公開(公告)號: CN113408120B 公開(公告)日: 2023-07-04
發明(設計)人: 劉燁凱;王夢亞;趙鵬;程全 申請(專利權)人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
主分類號: G06F30/20 分類號: G06F30/20;G06F30/10;G06F111/04
代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570 代理人: 黃舒悅
地址: 518132 廣東省深*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 標記 位置 設定 方法 裝置
【說明書】:

本申請提供一種標記位置設定方法及裝置,該標記位置設定方法包括:根據成膜區位置參數在預設基板上確定第一候選標記區域,并根據占據物位置參數在第一候選標記區域內確定第二候選標記區域,并基于坐標約束參數在第二候選標記區域內確定標記位置參數,根據標記位置參數確定標記的設定位置。本申請根據成膜區位置參數和占據物位置參數確定候選標記區域,并根據坐標約束參數在候選標記區域內確定標記設定位置,該方法便于通過自動化進行標記位置的設定,有利于提升設計掩膜板標記的準確性,并有利于降低生產成本。

技術領域

本申請涉及自動化設計領域,尤其涉及一種標記位置設定方法及裝置。

背景技術

掩膜板是顯示面板等電子器件制作過程中必不可少的工具,利用掩膜板進行曝光或進行氣相定位沉積是制作顯示面板過程中的重要手段。掩膜板使用過程中,需要通過多種標記進行定位。目前,設計掩膜板標記的方法是設計師根據設計規則和個人經驗人工進行標記位置的設定,這種方法對設計師具有較高的經驗要求和極大的依賴性,人力成本和時間成本均較高,且設計的一致性和準確率較差。

所以,目前人工設計掩膜板標記的方法存在成本高、準確性差的技術問題。

發明內容

本申請提供一種標記位置設定方法及裝置,用于緩解目前人工設計掩膜板標記的方法存在的成本高、準確性差的技術問題。

本申請提供一種標記位置設定方法,其包括:

獲取成膜區位置參數;

根據所述成膜區位置參數在預設基板上確定第一候選標記區域;

獲取占據物位置參數;

根據所述占據物位置參數,在所述第一候選標記區域內確定第二候選標記區域;

獲取坐標約束參數;

基于所述坐標約束參數,在所述第二候選標記區域內確定標記位置參數;

根據所述標記位置參數確定標記的設定位置。

在本申請的標記位置設定方法中,所述獲取成膜區位置參數的步驟,包括:

獲取所述預設基板的邊緣尺寸參數;

獲取邊緣保證區的尺寸參數;

根據所述預設基板的邊緣尺寸參數和所述邊緣保證區的尺寸參數,確定所述成膜區位置參數。

在本申請的標記位置設定方法中,所述獲取占據物位置參數的步驟,包括:

在所述第一候選標記區域內檢測標記占據物;

計算所述標記占據物在所述第一候選標記區域內的位置數據;

根據所述標記占據物在所述第一候選標記區域內的位置數據確定占據物位置參數。

在本申請的標記位置設定方法中,所述獲取占據物位置參數的步驟,包括:

在所述第一候選標記區域內檢測器件占據物;

計算所述器件占據物在所述第一候選標記區域內的位置數據;

根據所述器件占據物在所述第一候選標記區域內的位置數據確定占據物位置參數。

在本申請的標記位置設定方法中,所述根據所述占據物位置參數,在所述第一候選標記區域內確定第二候選標記區域的步驟,包括:

根據所述占據物位置參數確定占據物的占據區域;

從所述第一候選標記區域內去除所述占據物的占據區域,得到所述第二候選標記區域。

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