[發(fā)明專利]半導(dǎo)體器件生產(chǎn)用的電氣元件制造裝置及制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110636226.0
• 申請(qǐng)日: 2021-06-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113078082B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姬煜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇振寧半導(dǎo)體研究院有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;G03F7/16
• 代理公司: 北京棘龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11740
• 代理人: 張開(kāi)

本發(fā)明公開(kāi)了半導(dǎo)體器件生產(chǎn)用的電氣元件制造裝置及制造方法，屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，半導(dǎo)體器件生產(chǎn)用的電氣元件制造裝置，包括箱體和加工產(chǎn)品，還包括：存放罐和水箱，均位于箱體內(nèi)；機(jī)械手臂，位于箱體頂部；涂抹頭，連接在機(jī)械手臂的輸出端，通過(guò)涂抹頭對(duì)加工產(chǎn)品進(jìn)行涂抹，涂抹頭與存放罐之間通過(guò)出料管輸送；出料管在輸送過(guò)程中通過(guò)水箱內(nèi)的熱水進(jìn)行保溫；箱體頂部設(shè)有帶有靜電的吸附體；與市場(chǎng)上現(xiàn)有的半導(dǎo)體器件生產(chǎn)用的電氣元件制造裝置相比，本半導(dǎo)體器件生產(chǎn)用的電氣元件制造裝置，在涂抹完成后，還可以利用給光刻膠進(jìn)行保溫所產(chǎn)生的水蒸氣進(jìn)行降塵。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)用的電氣元件制造裝置及制造方法。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體器件是導(dǎo)電性介于良導(dǎo)電體與絕緣體之間，利用半導(dǎo)體材料特殊電特性來(lái)完成特定功能的電子器件，可用來(lái)產(chǎn)生、控制、接收、變換、放大信號(hào)和進(jìn)行能量轉(zhuǎn)換，半導(dǎo)體器件的半導(dǎo)體材料是硅、鍺或砷化鎵，可用作整流器、振蕩器、發(fā)光器、放大器、測(cè)光器等器材。

某些通過(guò)半導(dǎo)體器件所制作的產(chǎn)品中，比如芯片的制造過(guò)程中，需在其表面涂抹一層光刻膠，然后再進(jìn)行加工，在將光刻膠涂抹在產(chǎn)品表面時(shí)，要求要有極高的精度，人工無(wú)法完成，需要用到機(jī)械設(shè)備進(jìn)行涂抹，但是目前市場(chǎng)上現(xiàn)有的用于制造芯片的半導(dǎo)體器件生產(chǎn)用的電氣元件制造裝置，在工作時(shí)，周?chē)菀壮霈F(xiàn)細(xì)小的灰塵，以及在光刻膠的輸送過(guò)程中，容易溫度過(guò)低而導(dǎo)致光刻膠出現(xiàn)較高的粘滯性，導(dǎo)致涂抹出較厚的光刻膠，以至于涂抹質(zhì)量下降。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中周?chē)菀壮霈F(xiàn)細(xì)小的灰塵，以及在光刻膠的輸送過(guò)程中，容易溫度過(guò)低而導(dǎo)致光刻膠出現(xiàn)較高的粘滯性，導(dǎo)致涂抹出較厚的光刻膠等問(wèn)題，而提出的半導(dǎo)體器件生產(chǎn)用的電氣元件制造裝置及制造方法。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：

半導(dǎo)體器件生產(chǎn)用的電氣元件制造裝置，包括箱體和加工產(chǎn)品，還包括：存放罐和水箱，均位于箱體內(nèi)；機(jī)械手臂，位于箱體頂部；涂抹頭，連接在機(jī)械手臂的輸出端，通過(guò)涂抹頭對(duì)加工產(chǎn)品進(jìn)行涂抹，涂抹頭與存放罐之間通過(guò)出料管輸送；出料管在輸送過(guò)程中通過(guò)水箱內(nèi)的熱水進(jìn)行保溫；箱體頂部設(shè)有帶有靜電的吸附體，吸附體底部套有接塵筒；噴頭，連接在接塵筒內(nèi)壁，噴頭與水箱頂部相連通，利用水箱內(nèi)的水蒸氣進(jìn)行降塵；其中，加工產(chǎn)品連接在箱體頂部。

為了實(shí)現(xiàn)對(duì)出料管內(nèi)的光刻膠進(jìn)行保溫，優(yōu)選的，所述箱體內(nèi)還設(shè)有電機(jī)、導(dǎo)熱罐和第一活塞組件，所述電機(jī)的輸出端連接有曲軸，所述曲軸與第一活塞組件轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述水箱與第一活塞組件之間通過(guò)第一管道相連接，所述第一活塞組件與導(dǎo)熱罐頂部之間通過(guò)第二管道相連接，所述導(dǎo)熱罐底部與水箱之間通過(guò)第三管道相連接，所述第一管道、第二管道和第三管道內(nèi)均設(shè)有單向閥，所述導(dǎo)熱罐為導(dǎo)熱材料制成，所述出料管纏繞在導(dǎo)熱罐表面，所述水箱內(nèi)設(shè)有加熱絲。

為了提高涂抹效率，優(yōu)選的，所述箱體頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿頂部固定連接有工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上設(shè)有吸盤(pán)，所述加工產(chǎn)品放置在吸盤(pán)上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿與電機(jī)的輸出端通過(guò)第二皮帶相連接。

為了將加工產(chǎn)品牢牢固定在吸盤(pán)上，優(yōu)選的，所述箱體內(nèi)設(shè)有氣缸和第二活塞組件，所述氣缸的輸出端與第二活塞組件相連接，所述第二活塞組件與吸盤(pán)之間通過(guò)第六管道相連接，所述第六管道上設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)接頭，所述轉(zhuǎn)動(dòng)接頭連接在轉(zhuǎn)動(dòng)桿底部。

為了防止存放罐內(nèi)光刻膠長(zhǎng)時(shí)間存放導(dǎo)致凝固，優(yōu)選的，所述箱體內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸與電機(jī)的輸出端通過(guò)第一皮帶相連接，所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)有螺旋葉片，所述螺旋葉片位于存放罐內(nèi)。

為了產(chǎn)生靜電，吸附灰塵，優(yōu)選的，所述箱體頂部設(shè)有傳導(dǎo)片，所述傳導(dǎo)片與吸附體相連接，所述傳導(dǎo)片表面包裹有隔離層，所述傳導(dǎo)片底部設(shè)有第二摩擦片，所述第二摩擦片底部設(shè)有緊緊貼合且可相互摩擦的第一摩擦片，所述箱體內(nèi)設(shè)有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用以驅(qū)動(dòng)第一摩擦片往復(fù)移動(dòng)。