[發明專利]一種倒角機

在審

• 申請號: 202110609625.8
• 申請日: 2021-06-01
• 公開（公告）號: CN113352178A
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: 鄭六奎
• 申請（專利權）人: 鄭六奎
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B41/06;B24B55/02;B24B55/06;B24B41/02;B24B55/00
• 代理公司: 北京麥匯智云知識產權代理有限公司 11754
• 代理人: 周雪峰

本發明提出了一種倒角機，涉及倒角設備技術領域。發明采用包括機架，機架內設置有工作箱，倒角組件，對中組件、載物組件以及滑動組件，倒角組件安裝于工作箱的外壁，載物組件包括彼此連接的載物臺和升降臺，升降臺與滑動組件相連，滑動組件與機架連接且位于工作箱外部，載物臺位于工作箱內，載物臺設置有第一電動機和用于吸附物料的真空吸附臺，第一電動機的輸出端與真空吸附臺通過齒輪傳動副連接的技術方案，具有工作穩定，打磨效果好的有益效果。

技術領域

發明涉及硅片倒角設備技術領域，具體而言，涉及一種倒角機。

背景技術

硅是一種很典型的半導體材料，其在地球表面的含量僅次于氧，被廣泛應用于二極管、三極管、晶閘管、場效應管和各種集成電路，航空航天，光導纖維等多種領域中，是非常重要的材料。在硅片的加工過程中，從硅晶錠切成硅片后，如果直接進行磨片，容易產生崩邊，從而引起硅片報廢，因此在磨片之前需要對硅片進行倒角。

目前，硅片倒角機在對硅片進行倒角時，由于帶動砂輪轉動的軸會因高速轉動產生震動，因此在打磨硅片時容易造成砂輪的打磨不穩定，使得硅片打磨效果不穩定甚至較差，因此，現有技術還有待改進。

發明內容

發明的目的在于提供一種倒角機，其能夠針對上述問題，提出對應的解決方案，具有工作穩定，打磨效果好的有益效果。

發明的實施例是這樣實現的：

本申請實施例提供一種倒角機，其包括機架，機架內設置有工作箱，倒角組件，對中組件、載物組件以及滑動組件，倒角組件安裝于工作箱的外壁，載物組件包括彼此連接的載物臺和升降臺，升降臺與滑動組件相連，滑動組件與機架連接且位于工作箱外部，載物臺位于工作箱內，載物臺設置有第一電動機和用于吸附物料的真空吸附臺，第一電動機的輸出端與真空吸附臺通過齒輪傳動副連接。

在發明的一些實施例中，上述載物臺包括載物板，真空吸附臺與載物板轉動連接，第一電動機與載物板固定連接，且第一電動機的輸出端穿過載物板，真空吸附臺的底部設置有轉動軸，轉動軸設有第一齒輪，第一電動機的輸出端設置有與第一齒輪嚙合的第二齒輪。

在發明的一些實施例中，上述第一齒輪的直徑大于上述第二齒輪的直徑。

在發明的一些實施例中，上述載物臺還包括連桿，連桿包括彼此垂直設置的第一連接桿和第二連接桿，第一連接桿與升降臺連接，第一連接桿的長度大于上述第二連接桿的長度，上述第二連接桿遠離上述第一連接桿的一端與上述載物板連接。

在發明的一些實施例中，上述倒角組件包括主軸和第二電動機，第二電動機的輸出端與主軸連接，主軸遠離第二電動機的一端轉動連接有砂輪。

在發明的一些實施例中，上述砂輪沿其圓周面開設有多個打磨槽。

在發明的一些實施例中，上述對中組件包括第一對中臺和能夠水平伸縮的第二對中臺，上述第一對中臺與上述機架連接并延伸至上述工作箱內，且上述第一對中臺位于上述砂輪的側面，上述第二對中臺也與上述機架連接并延伸至上述工作箱內，第二對中臺的伸縮方向與上述第一平臺垂直設置。

在發明的一些實施例中，上述第二對中臺包括彼此連接的對中板和伸縮件，對中板位工作箱內，伸縮件與機架連接，伸縮件的伸縮方向與第二對中臺垂直設置。

在發明的一些實施例中，上述滑動組件包括十字滑臺，十字滑臺包括兩個垂直設置的第一滑軌和第二滑軌，升降臺與上述第二滑軌滑動連接。

在發明的一些實施例中，上述工作箱內設置有冷卻液噴頭。

相對于現有技術，發明的實施例至少具有如下優點或有益效果：