[發明專利]測試保護電路及其控制方法、測試電路及芯片測試電路

有效

• 申請號: 202110609539.7
• 申請日: 2021-06-01
• 公開（公告）號: CN113359008B
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 陸玉斌
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 史治法

1.一種測試保護電路，其特征在于，包括：

第一電連接端，與測試機的驅動線連接；所述驅動線通過探針與被測器件連接，以為所述被測器件提供電源電壓，所述測試機用于對所述被測器件進行開爾文電性測試；

第二電連接端，與所述測試機的感測線連接；所述感測線通過感測引腳與所述被測器件連接，以感測所述被測器件的電源電壓；及

保護模塊，與所述第一電連接端及所述第二電連接端連接，用于在所述感測引腳異常時將所述被測器件的電源電壓反饋給所述測試機；

其中，所述第一電連接端包括驅動線連接端及驅動地線連接端，所述第二電連接端包括感測線連接端及感測地線連接端；所述驅動線包括電源驅動線及驅動地線，所述感測線包括電源感測線及感測地線；所述保護模塊包括第一保護子模塊及第二保護子模塊；所述感測引腳包括第一感測引腳及第二感測引腳；

所述第一保護子模塊的兩端分別與所述驅動線連接端及所述感測線連接端連接，所述驅動線連接端還與所述電源驅動線連接，所述感測線連接端還與所述電源感測線連接，所述第一保護子模塊具有第一預設電阻值；所述電源感測線通過所述第一感測引腳與所述被測器件連接，當所述第一感測引腳與所述被測器件之間接觸正常時，所述第一預設電阻值大于所述第一感測引腳和所述被測器件之間的電阻值，當所述第一感測引腳與所述被測器件之間接觸異常時，所述第一預設電阻值小于所述第一感測引腳和所述被測器件之間的電阻值；

所述第二保護子模塊的兩端分別與所述驅動地線連接端及所述感測地線連接端連接，所述驅動地線連接端還與所述驅動地線連接，所述感測地線連接端還與所述感測地線連接，所述第二保護子模塊具有第二預設電阻值，所述感測地線通過所述第二感測引腳與所述被測器件連接，當所述第二感測引腳與所述被測器件之間接觸正常時，所述第二預設電阻值大于所述第二感測引腳和所述被測器件之間的電阻值，當所述第二感測引腳與所述被測器件之間接觸異常時，所述第二預設電阻值小于所述第二感測引腳和所述被測器件之間的電阻值。

2.根據權利要求1所述的測試保護電路，其特征在于，所述第一保護子模塊包括第一保護電阻，所述第一保護電阻的兩端分別與所述驅動線連接端及所述感測線連接端連接；和/或

所述第二保護子模塊包括第二保護電阻，所述第二保護電阻的兩端分別與所述驅動地線連接端及所述感測地線連接端連接。

3.根據權利要求2所述的測試保護電路，其特征在于，所述第一保護電阻和所述第二保護電阻的尺寸范圍為0.5cm*1cm至2cm*3cm。

4.根據權利要求1至3任一項所述的測試保護電路，其特征在于，所述第一預設電阻值及所述第二預設電阻值相等。

5.根據權利要求4所述的測試保護電路，其特征在于，所述第一預設電阻值和所述第二預設電阻值均為NkΩ，N大于1。

6.根據權利要求5所述的測試保護電路，其特征在于，所述第一預設電阻值和所述第二預設電阻值的范圍均為5kΩ至10kΩ。

7.一種測試電路，其特征在于，包括：測試機、探針、感測引腳及如權利要求1至6任一項所述的測試保護電路。

8.根據權利要求7所述的測試電路，其特征在于，所述測試機包括：

所述驅動線；

所述感測線；

負反饋模塊，所述負反饋模塊的輸入端與所述感測線連接，用于反饋所述被測器件的電源電壓；及

器件電源，與所述驅動線和所述負反饋模塊的輸出端連接，用于根據所述負反饋模塊或者所述保護模塊反饋的所述被測器件的電源電壓，調節通過所述驅動線輸出給所述被測器件的電壓，以控制所述被測器件的電源電壓為預設電源電壓。

9.根據權利要求7所述的測試電路，其特征在于，當測試的所述被測器件的數量為多個時，所述測試保護電路的數量與所述被測器件的數量相等且一一對應。

10.根據權利要求7所述的測試電路，其特征在于，所述探針和所述感測引腳包括懸臂針或垂直針。