[發明專利]一種太陽能電池片的制造方法在審
| 申請號： | 202110578014.1 | 申請日： | 2021-05-26 |
| 公開（公告）號： | CN113314626A | 公開（公告）日： | 2021-08-27 |
| 發明（設計）人： | 張俊揆;董俊杰;張滿滿;王璐;樂雄英;陸祥 | 申請（專利權）人： | 江蘇潤陽世紀光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/0236 | 分類號： | H01L31/0236;H01L31/042;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 毛姍 |
| 地址： | 224005 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 太陽能電池 制造 方法 | ||
1.一種太陽能電池片的制造方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：
(1)對單晶硅片表面進行激光開孔；
(2)激光開孔后進行酸洗，去除氧化層；
(3)酸洗后進行堿制絨，形成金字塔結構；
(4)然后擴散、去除PSG、堿拋、氧化、正面沉積氮化硅、背面鈍化、背面激光開孔、絲網印刷燒結，得到太陽能電池片。
2.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片的制造方法，其特征在于，步驟(1)對單晶硅片表面進行激光開孔，且激光開孔位置避開絲網印刷柵線的金屬化區域。
3.根據權利要求1或2所述的一種太陽能電池片的制造方法，其特征在于，步驟(1)中激光開孔的深度為1-50微米。
4.根據權利要求1或2所述的一種太陽能電池片的制造方法，其特征在于，步驟(1)中激光開孔所形成的激光光斑的直徑為10-50微米；激光光斑之間的距離為1-1000微米。
5.根據權利要求1或2所述的一種太陽能電池片的制造方法，其特征在于，步驟(1)中所述激光的功率為120-200W，激光波長為500-900nm。
6.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片的制造方法，其特征在于，步驟(2)激光開孔后對激光面進行酸洗，去除因激光高溫而產生的氧化層。
7.根據權利要求1或6所述的一種太陽能電池片的制造方法，其特征在于，步驟(2)中酸洗所采用的酸為濃度10-15wt％的氫氟酸。
8.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片的制造方法，其特征在于，步驟(3)酸洗后用濃度2-5wt％的堿性溶液進行堿制絨，形成金字塔結構。
9.根據權利要求8所述的一種太陽能電池片的制造方法，其特征在于，所述的堿性溶液選自氫氧化鈉溶液、氫氧化鉀溶液、氫氧化鋰溶液中的一種。
10.根據權利要求8所述的一種太陽能電池片的制造方法，其特征在于，步驟(3)酸洗后用濃度2-5wt％的堿性溶液在75-80℃下進行堿制絨，形成金字塔結構。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
