[發明專利]一種模塊化旋轉式空間原子層沉積系統

在審

• 申請號: 202110550084.6
• 申請日: 2021-05-20
• 公開（公告）號: CN113174589A
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: 張雨晴
• 申請（專利權）人: 北京態銳儀器科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 北京智丞瀚方知識產權代理有限公司 11810
• 代理人: 秦全

1.一種模塊化旋轉式空間原子層沉積系統，其特征在于，包括：

第一殼體，所述第一殼體是由多個相同的可拆卸相連的單元腔室組合而成的環形結構，每個所述單元腔室內均間隔設有多個隔斷以將所述單元腔室分割成多個功能區域腔；

多段傳動導軌，所述多段傳動導軌上設有多個用于放置晶圓的托盤，多個所述托盤一一對應地與多個所述單元腔室相對應，多段所述傳動導軌分別設置在所述第一殼體內的多個單元腔室中，當所述單元腔室組合成第一殼體時，所述多段傳動導軌形成閉環，以使多個所述托盤在多個所述單元腔室內循環移動；

第二殼體，所述第二殼體與其中一個所述單元腔室相連通，所述第二殼體內設有用于將晶圓放置在托盤上的搬運機械臂；

氣體進入管道，所述氣體進入管道分別與多個所述單元腔室相連通，所述氣體進入管道用于向至少部分所述功能區域腔送入相應氣體。

2.根據權利要求1所述的模塊化旋轉式空間原子層沉積系統，其特征在于，所述傳動導軌包括導軌本體和連接件，所述連接件的下端滑動設置在所述導軌本體內，所述連接件的上端連接于所述托盤，所述連接件上設有齒輪接口；

還包括驅動電機，所述驅動電機的電機軸上設有齒輪盤，所述齒輪盤與所述齒輪接口嚙合配合。

3.根據權利要求2所述的模塊化旋轉式空間原子層沉積系統，其特征在于，所述連接件和所述導軌本體之間滾動連接有多個鋼珠。

4.根據權利要求1所述的模塊化旋轉式空間原子層沉積系統，其特征在于，多個所述功能區域腔依次為第一反應氣體腔、第一真空腔、第一惰性氣體腔、第二反應氣體腔、第二真空腔、第二惰性氣體腔。

5.根據權利要求2所述的模塊化旋轉式空間原子層沉積系統，其特征在于，所述第二殼體包括用于存放晶圓的存放腔、用于放置所述搬運機械臂的搬運腔和與所述第一殼體的內腔相連通的操作腔，所述搬運腔位于所述存放腔和所述操作腔之間。

6.根據權利要求5所述的模塊化旋轉式空間原子層沉積系統，其特征在于，所述搬運腔、所述存放腔和所述操作腔可拆卸相連。

7.根據權利要求6所述的模塊化旋轉式空間原子層沉積系統，其特征在于，所述存放腔的下方設有用于放置電氣控制柜的第一抽真空腔，所述操作腔的下方設有用于放置驅動電機的第二抽真空腔。

8.根據權利要求5所述的模塊化旋轉式空間原子層沉積系統，其特征在于，所述操作腔內設有升降桿，所述升降桿用于穿過所述托盤帶動所述晶圓向上移動。

9.根據權利要求1所述的模塊化旋轉式空間原子層沉積系統，其特征在于，所述第一殼體包括上蓋、底板和兩個間隔設置的外壁層，所述上蓋設置在兩個所述外壁層的上方，所述底板設置在兩個所述外壁層的下方。

10.根據權利要求9所述的模塊化旋轉式空間原子層沉積系統，其特征在于，所述上蓋上間隔設有多個長條形進氣口，所述底板上設有多個與所述單元腔室相連通的真空抽氣口，所述氣體進入管道通過多個所述長條形進氣口與多個所述功能區域腔相連通。