[發(fā)明專利]具有反射鏡分面的馬赫-曾德爾干涉儀

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110545187.3
• 申請(qǐng)日: 2021-05-19
• 公開（公告）號(hào): CN113703097A
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: B.方德爾;山田廣明;J.鄭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 朗美通經(jīng)營有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G02B6/28
• 分類號(hào): G02B6/28
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 賀紫秋

在一些實(shí)施方式中，馬赫?曾德爾干涉儀(MZI)包括在芯片中形成的延遲線臂和在芯片中形成的反射鏡分面。延遲線臂可以被配置成將光傳播到反射鏡分面。反射鏡分面可以被配置成將由延遲線臂傳播到反射鏡分面的一定百分比的光反射到延遲線臂。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及馬赫-曾德爾干涉儀(MZI)，并且例如涉及具有反射鏡分面的MZI干涉儀。

背景技術(shù)

常規(guī)延遲線MZI包括延遲線臂和非延遲線臂，其中延遲線臂比非延遲線臂長(zhǎng)。典型地，延遲線MZI分離光信號(hào)，并且使得光信號(hào)的第一部分經(jīng)由延遲線臂傳播，并且光信號(hào)的第二部分經(jīng)由非延遲線臂傳播。延遲線MZI然后將光信號(hào)的第一部分和光信號(hào)的第二部分組合成組合光信號(hào)。因?yàn)檠舆t線臂的光路比非延遲線臂的光路長(zhǎng)，所以當(dāng)組合成組合光信號(hào)時(shí)，光信號(hào)的第一部分與光信號(hào)的第二部分相比是時(shí)間延遲的。

發(fā)明內(nèi)容

在一些實(shí)施方式中，MZI包括形成在芯片中的延遲線臂，該延遲線臂被配置為將光傳播到形成在芯片中的反射鏡分面；并且反射鏡分面被配置成將由延遲線臂傳播到反射鏡分面的一定百分比的光反射到延遲線臂。

在一些實(shí)施方式中，MZI包括在芯片中形成的第一反射鏡分面；在芯片中形成的第二反射鏡分面；在芯片中形成的光傳輸元件；在芯片中形成的延遲線波導(dǎo)，其連接在光傳輸元件和第一反射鏡分面之間；以及在芯片中形成的非延遲線波導(dǎo)，其連接在光傳輸元件和第二反射鏡分面之間。

在一些實(shí)施方式中，光學(xué)器件包括:襯底；形成在襯底上的第一馬赫-曾德爾干涉儀(MZI)，包括:第一延遲線臂，以及位于第一延遲線臂的端部處的第一反射鏡分面；和形成在襯底上的第二MZI，包括:第二延遲線臂，以及位于第二延遲線臂的端部處的第二反射鏡分面。

在一些實(shí)施方式中，MZI包括第一反射鏡分面；第二反射鏡分面；延遲線臂，被配置為將光束的第一部分傳播到第一反射鏡分面；以及非延遲線臂，被配置為將光束的第二部分傳播到第二反射鏡分面，其中:延遲線臂的長(zhǎng)度大于非延遲線臂的長(zhǎng)度；第一反射鏡分面被配置成將光束的第一部分的一定百分比反射到延遲線臂；并且第二反射鏡分面被配置成將光束的第二部分的一定百分比反射到非延遲線臂。

附圖說明

圖1是圖示本文描述的示例MZI的圖。

圖2是示出圖1的示例MZI的一部分的橫截面的圖。

圖3是示出本文描述的反射鏡分面的示例溝槽的俯視圖。

圖4是圖示本文描述的示例MZI的圖。

圖5是示出本文描述的示例光學(xué)設(shè)備的示意圖。

圖6A-6C描繪了示出波長(zhǎng)和通過本文描述的特定MZI的光傳輸之間的關(guān)系的示例圖。

圖7A-7D描繪了本文描述的示例光學(xué)設(shè)備和相關(guān)圖表。

圖8A-8D描繪了本文描述的示例光學(xué)設(shè)備和相關(guān)圖表。

具體實(shí)施方式

以下示例實(shí)現(xiàn)的詳細(xì)描述參考了附圖。不同附圖中相同的附圖標(biāo)記可以標(biāo)識(shí)相同或相似的元件。