[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體制冷溫控裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110542989.9
• 申請(qǐng)日: 2021-05-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113284825B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-01-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 華斌;周訓(xùn)丙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 智程半導(dǎo)體設(shè)備科技（昆山）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;F25B21/02;F25B49/00
• 代理公司: 蘇州企航知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32354
• 代理人: 朱丹

本發(fā)明提出了一種半導(dǎo)體制冷溫控裝置，包括位于藥液腔兩側(cè)的固定板，所述固定板中心設(shè)有第一熱交換板，所述第一熱交換板一面位于所述藥液腔內(nèi)，另一面上連接有半導(dǎo)體制冷片，所述半導(dǎo)體制冷片外部設(shè)有第二熱交換板；所述固定板四周設(shè)有快裝壓力機(jī)構(gòu)，所述快裝壓力機(jī)構(gòu)用于壓緊兩個(gè)所述固定板，本半導(dǎo)體制冷溫控裝置是具有雙向溫控功能，控溫精度可以控制在所需溫度的±0.1℃范圍內(nèi)，在一些溫度要求較高的制程中有較好的應(yīng)用，另外，為了保證散熱效果，通過(guò)不斷的將兩個(gè)固定板壓緊，能夠減少各個(gè)換熱板與半導(dǎo)體制冷片之間的緊密度，保證降溫效果，且防止傳熱不緊密影響檢測(cè)溫度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制程藥液溫控領(lǐng)域，尤其涉及半導(dǎo)體制冷溫控裝置。

背景技術(shù)

蝕刻是半導(dǎo)體生產(chǎn)中的一個(gè)重要環(huán)節(jié)，通常所指蝕刻也稱光化學(xué)蝕刻，指通過(guò)曝光制版、顯影后，將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除，在蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液，達(dá)到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。在蝕刻完成后，需要對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗，清洗過(guò)程中藥液溫度會(huì)隨之發(fā)生升高變化，為使得藥液的溫度降低，同時(shí)保證新藥液添加后的溫度迅速降低，通常會(huì)在藥液槽中設(shè)置冷卻機(jī)構(gòu)，目前使用的多為制冷型冰水機(jī)，槽體內(nèi)部冷卻盤管控溫，體積大，能耗大，控溫精度差，基本控制在±0.5℃。現(xiàn)存冰水機(jī)多為風(fēng)冷式冰水機(jī)和水冷式冰水機(jī)，需要定期進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)，且多為單向控溫，每次降溫到低于預(yù)設(shè)溫度后，就需要停止供冷，等溫度慢慢回升，這樣溫控范圍不可控，針對(duì)一些溫控精度要求較高的制程時(shí)難以把控，另外，針對(duì)現(xiàn)有的設(shè)備中，由于藥液與中間的導(dǎo)熱部件之間，以及導(dǎo)熱部件相互之間接觸不夠緊密使得溫度散熱不均勻，且散熱效率低，大大影響制冷效果，且內(nèi)部結(jié)構(gòu)老化須更換時(shí)，拆卸設(shè)備較為繁瑣。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提出了一種半導(dǎo)體制冷溫控裝置，包括位于藥液腔兩側(cè)的固定板，所述固定板中心設(shè)有第一熱交換板，所述第一熱交換板一面位于所述藥液腔內(nèi)，另一面上連接有半導(dǎo)體制冷片，所述半導(dǎo)體制冷片外部設(shè)有第二熱交換板；所述固定板四周設(shè)有快裝壓力機(jī)構(gòu)，所述快裝壓力機(jī)構(gòu)用于壓緊兩個(gè)所述固定板。

優(yōu)選的，所述第一熱交換板包括第一板體，所述第一板體位于所述藥液腔的一面上貼覆PFA膜。

優(yōu)選的，所述第二熱交換板包括兩組第二板體，所述第二板體之間設(shè)有S形排列的冷水管。

優(yōu)選的，所述快裝壓力機(jī)構(gòu)包括若干連接釘，相鄰的所述連接釘端部通過(guò)連桿連接，所述連接釘頭部設(shè)置有環(huán)形的第一壓力囊，所述第一壓力囊與制冷系統(tǒng)的冷水泵連接；所述連接釘另一端設(shè)有第二壓力囊，所述第二壓力囊上設(shè)有內(nèi)螺紋片，所述內(nèi)螺紋片旋于所述螺桿上，且所述第二壓力囊位于所述內(nèi)螺紋片和固定板之間。

優(yōu)選的，所述第一壓力囊和第二壓力囊由橡膠制成，所述橡膠外部涂覆有聚脲，且所述第一壓力囊之間通過(guò)連接管連接，所述第二壓力囊之間通過(guò)連接管連接。

優(yōu)選的，所述連接桿與所述連接釘端部通過(guò)噴涂聚脲包覆連接。

優(yōu)選的，所述固定板之間設(shè)有支撐鈑金。

優(yōu)選的，所述固定板下部通過(guò)連接件固定有安裝板。

優(yōu)選的，所述第一熱交換板和第二熱交換板與半導(dǎo)體制冷片之間的間隙內(nèi)填充有導(dǎo)熱硅膠。

本發(fā)明提出的半導(dǎo)體制冷溫控裝置有以下有益效果：本半導(dǎo)體制冷溫控裝置具有雙向溫控功能，控溫精度可以控制在所需溫度的±0.1℃范圍內(nèi)，在一些溫度要求較高的制程中有較好的應(yīng)用，另外，為了保證散熱效果，通過(guò)不斷的將兩個(gè)固定板壓緊，能夠減少各個(gè)換熱板與半導(dǎo)體制冷片之間的緊密度，保證降溫效果，且防止傳熱不緊密影響檢測(cè)溫度。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹。

圖1為本發(fā)明的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的側(cè)面示意圖；