[發(fā)明專利]納秒激光輻照制備非晶合金表面微納米周期性結(jié)構(gòu)的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110500793.3
• 申請(qǐng)日: 2021-05-08
• 公開（公告）號(hào): CN113070576B
• 公開（公告）日: 2022-01-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃虎;錢永峰;張洪洋;張帝;劉翰林;洪婧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吉林大學(xué)
• 主分類號(hào): B23K26/352
• 分類號(hào): B23K26/352;B82Y40/00
• 代理公司: 長(zhǎng)春市恒譽(yù)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 22212
• 代理人: 李榮武

1.納秒激光輻照制備非晶合金表面微納米周期性結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1) 將待加工的非晶合金試樣進(jìn)行機(jī)械研磨及拋光，并使用乙醇和去離子水進(jìn)行10分鐘的超聲清洗，然后室溫風(fēng)干；

(2) 以氬氣作為保護(hù)氣體，將激光束聚焦至非晶合金表面，由計(jì)算機(jī)程序設(shè)置激光輻照參數(shù)，利用入射激光與其激發(fā)的表面等離子體之間的干涉效應(yīng)，可在不同成分的非晶合金表面制備特征尺寸約為1μm的周期性結(jié)構(gòu)；所述的激光輻照參數(shù)為：激光波長(zhǎng)為1064nm，脈寬為7ns，重復(fù)頻率為600kHz，激光能量密度為40～200mJ/cm²，掃描速度為2～5mm/s，掃描次數(shù)為1～10次，激光能量分布為高斯分布。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納秒激光輻照制備非晶合金表面微納米周期性結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于：步驟(1)中所述的非晶合金試樣可為鋯基、鈦基、鐵基非晶合金。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納秒激光輻照制備非晶合金表面微納米周期性結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于：步驟(1)中所述的超聲清洗的溫度為50～60℃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納秒激光輻照制備非晶合金表面微納米周期性結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于：步驟(2)中所述的氬氣壓強(qiáng)為0.01MPa。