[發明專利]校準方法和校準系統在審
| 申請號： | 202110496473.5 | 申請日： | 2021-05-07 |
| 公開（公告）號： | CN113675067A | 公開（公告）日： | 2021-11-19 |
| 發明（設計）人： | 杉田吉平;佐佐木花;稻葉薫;土樋輪充;新沼崇;藤原光 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H01J37/244;G01J3/443;G01J3/02 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 校準 方法 系統 | ||
1.一種校準方法，包括以下工序：
在基準裝置內配置具有給定的波長帶的LED光源；
使從所配置的所述LED光源輸出的光量發生變化，并獲取被階段性地進行了調整的光量中的每個波長的發光強度即第一數據；
將所述第一數據存儲到存儲器中；
將所述LED光源配置于校準對象裝置；
使從所配置的所述LED光源輸出的光量發生變化，并獲取被階段性地進行了調整的光量中的每個波長的發光強度即第二數據；以及
基于所述第二數據和所述存儲器中存儲的所述第一數據來計算校準式。
2.根據權利要求1所述的校準方法，其特征在于，
還包括以下工序：基于所述校準式對由安裝于所述校準對象裝置的發射光譜分析裝置檢測到的發光強度進行校準，來獲取第三數據。
3.根據權利要求2所述的校準方法，其特征在于，
所述發光強度是所述校準對象裝置內的等離子體的發光強度。
4.根據權利要求1～3中的任一項所述的校準方法，其特征在于，
在200nm～870nm的范圍內設定給定的波長帶。
5.根據權利要求1～4中的任一項所述的校準方法，其特征在于，
所述LED光源由具有不同的波長帶的多個LED的組合構成。
6.根據權利要求1～5中的任一項所述的校準方法，其特征在于，
從所述LED光源輸出的被階段性地進行了調整的光量由控制所述LED光源的電流值、或所述LED光源中被點亮的LED的數量來決定。
7.根據權利要求1～6中的任一項所述的校準方法，其特征在于，
配置于所述基準裝置內的所述LED光源與配置于所述校準對象裝置的所述LED光源是同一光源。
8.根據權利要求1～7中的任一項所述的校準方法，其特征在于，
所述LED光源組合了光的峰值的波長不同的多種LED，照射在多個不同的波長處具有光的峰值的光與擴展為所期望的對象波長帶的光混合在一起的光。
9.根據權利要求8所述的校準方法，其特征在于，
使用所述LED光源對由安裝于所述校準對象裝置的發射光譜分析裝置檢測到的光強度進行校準，來同時進行波長的所述峰值的位置的校準和擴展為對象波長帶的光的靈敏度校準。
10.一種校準系統，具有基準裝置、校準對象裝置、基準裝置的控制部以及校準對象裝置的控制部，該校準系統的特征在于，
所述基準裝置的控制部構成為控制以下工序：
在基準裝置內配置具有給定的波長帶的LED光源；
使從所配置的所述LED光源輸出的光量發生變化，來獲取被階段性地進行了調整的光量中的每個波長的發光強度即第一數據；以及
將所述第一數據存儲到存儲器中；
所述校準對象裝置的控制部構成為控制以下工序：
將所述LED光源配置于所述校準對象裝置；
使從所配置的所述LED光源輸出的光量發生變化，來獲取被階段性地進行了調整的光量中的每個波長的發光強度即第二數據；以及
基于所述第二數據和所述存儲器中存儲的所述第一數據來計算校準式。
11.根據權利要求10所述的校準系統，其特征在于，
所述校準對象裝置的控制部構成為控制以下工序：
基于所述校準式對由安裝于所述校準對象裝置的發射光譜分析裝置檢測到的發光強度進行校準，來獲取第三數據。
12.根據權利要求10或11所述的校準系統，其特征在于，
所述基準裝置的控制部與所述校準對象裝置的控制部是同一控制部。
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