[發(fā)明專利]一種新型的垂直升降快速冷卻的石墨烯生長裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110494315.6 | 申請日： | 2021-05-07 |
| 公開（公告）號： | CN113321209A | 公開（公告）日： | 2021-08-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 錢正芳;梁豪;周燦欽 | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳華夢通訊技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | C01B32/186 | 分類號： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518038 廣東省深圳市福田區(qū)華富街道蓮*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 新型 垂直 升降 快速 冷卻 石墨 生長 裝置 | ||
1.一種新型的垂直升降快速冷卻的石墨烯生長裝置，其特征在于，包括一個用于石墨烯CVD生長的(2)8英寸石英管、一個控制石墨烯CVD生長溫度的(7)真空管式電爐，(1)垂直導軌，(3)兩端支架，(4)水平臺，(6)垂直支架，(8)水平導軌以及其它支撐結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種新型的垂直升降快速冷卻的石墨烯生長裝置，其特征在于所述升降架搭載了真空管式電爐，不限制構(gòu)成形式，提供了真空管式電爐前后移動的自由度，可用于控制真空管式爐的開合和高自由度的移動，方便反應完成后進行冷卻。
3.如權(quán)利要求1所述的一種新型的垂直升降快速冷卻的石墨烯生長裝置，其特征在于搭載在升降架的真空管式電爐為分裂式，通過安裝導軌和升降架的方式使得反應后可將電爐放置在上部，方便反應完成后進行冷卻。
4.如權(quán)利要求1所述的一種新型的垂直升降快速冷卻的石墨烯生長裝置，其特征在于用于石墨烯CVD生長的8英寸石英管長度略大于真空管式電爐的長度，相比水平移動式的CVD裝置所需長度大大縮短，減小了設(shè)備的占地面積，更有利于保持管內(nèi)氣流的穩(wěn)定和溫度的穩(wěn)定。
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