[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體自動(dòng)測量裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110489232.8
• 申請(qǐng)日: 2021-05-06
• 公開（公告）號(hào): CN115307596A
• 公開（公告）日: 2022-11-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 海太半導(dǎo)體（無錫）有限公司
• 主分類號(hào): G01B21/22
• 分類號(hào): G01B21/22
• 代理公司: 無錫市朗高知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32262
• 代理人: 趙華

本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體自動(dòng)測量裝置，包括樣品臺(tái)和測量結(jié)構(gòu)，樣品臺(tái)頂部設(shè)有固定結(jié)構(gòu)，測量結(jié)構(gòu)包括支架，支架為L型，支架的底部通過移動(dòng)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)進(jìn)行移動(dòng)，支架側(cè)壁設(shè)有控制面板，支架的頂部橫梁下方設(shè)有電機(jī)，電機(jī)通過螺栓與支架固定連接，電機(jī)的輸出軸頂端設(shè)有測量裝置；本發(fā)明通過不移動(dòng)樣品，而改成測量裝置的多角度變化，使測量結(jié)果更準(zhǔn)確，同時(shí)避免了人工翻轉(zhuǎn)移動(dòng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明主要涉及半導(dǎo)體測量領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體自動(dòng)測量裝置。

背景技術(shù)

目前，半導(dǎo)體分析作為技術(shù)尖端行業(yè)，測量必不可少，由于測量角度較多，只能通過人工移動(dòng)樣品實(shí)現(xiàn)角度的變化，以達(dá)到多角度測量的目的。但是多角度移動(dòng)后，不僅費(fèi)時(shí)費(fèi)力，還極易造成樣品定位中心變化，導(dǎo)致測量誤差的存在。同時(shí)，翻轉(zhuǎn)、移動(dòng)后，難以完全固定，容易晃動(dòng)，對(duì)測量以及建模造成極大的不便。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體自動(dòng)測量裝置，包括樣品臺(tái)1和和測量結(jié)構(gòu)，樣品臺(tái)1頂部設(shè)有固定結(jié)構(gòu)11，測量結(jié)構(gòu)包括支架2，支架2為L型，支架2的底部通過移動(dòng)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)6進(jìn)行移動(dòng)，支架2側(cè)壁設(shè)有控制面板5，支架2的頂部橫梁下方設(shè)有電機(jī)3，電機(jī)3通過螺栓與支架2固定連接，電機(jī)3的輸出軸頂端設(shè)有測量裝置4。

優(yōu)選的，樣品臺(tái)1為可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，頂部設(shè)有防滑紋。

優(yōu)選的，支架2為鋁合金材質(zhì)，內(nèi)部中空，拐角處設(shè)有加強(qiáng)筋。

優(yōu)選的，測量裝置4為影像測量儀。

優(yōu)選的，電機(jī)3采用雙向步進(jìn)電機(jī)，控制面板5通過電信號(hào)與電機(jī)3相連，并控制其啟閉與旋轉(zhuǎn)方向。

優(yōu)選的，控制面板5通過電信號(hào)與測量裝置4相連，并在根據(jù)測量裝置4的信號(hào)反饋進(jìn)行尺寸數(shù)據(jù)計(jì)算后，將數(shù)據(jù)通過無線信號(hào)發(fā)送至外部設(shè)備。

優(yōu)選的，移動(dòng)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)6中，軌道兩側(cè)均設(shè)有限位結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的有益效果：通過不移動(dòng)樣品，而改成測量裝置的多角度變化，使測量結(jié)果更準(zhǔn)確，同時(shí)避免了人工翻轉(zhuǎn)移動(dòng)。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖；

圖中，

1、樣品臺(tái)；2、支架；3、電機(jī)；4、測量裝置；5、控制面板；6、移動(dòng)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)；11、固定結(jié)構(gòu)。

具體實(shí)施方式

為了使本技術(shù)領(lǐng)域人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，并使本發(fā)明的上述特征、目的以及優(yōu)點(diǎn)更加清晰易懂，下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的說明。實(shí)施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍。

如圖1所示可知，本發(fā)明包括有：樣品臺(tái)1和測量結(jié)構(gòu)，樣品臺(tái)1頂部設(shè)有固定結(jié)構(gòu)11，測量結(jié)構(gòu)包括支架2，支架2為L型，支架2的底部通過移動(dòng)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)6進(jìn)行移動(dòng)，支架2側(cè)壁設(shè)有控制面板5，支架2的頂部橫梁下方設(shè)有電機(jī)3，電機(jī)3通過螺栓與支架2固定連接，電機(jī)3的輸出軸頂端設(shè)有測量裝置4。

在本實(shí)施中優(yōu)選的，樣品臺(tái)1為可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，頂部設(shè)有防滑紋。

設(shè)置上述結(jié)構(gòu)，防滑紋用于防止產(chǎn)品滑落。

在本實(shí)施中優(yōu)選的，支架2為鋁合金材質(zhì)，內(nèi)部中空，拐角處設(shè)有加強(qiáng)筋。

設(shè)置上述結(jié)構(gòu)，鋁合金材質(zhì)，內(nèi)部中空的支架2可以降低自身的重量，加強(qiáng)筋防止折彎。

在本實(shí)施中優(yōu)選的，測量裝置4為影像測量儀。

設(shè)置上述結(jié)構(gòu)，可以避免直接接觸，防止樣品損傷。

在本實(shí)施中優(yōu)選的，電機(jī)3采用雙向步進(jìn)電機(jī)，控制面板5通過電信號(hào)與電機(jī)3相連，并控制其啟閉與旋轉(zhuǎn)方向。