[發(fā)明專利]半導(dǎo)體設(shè)備及其承載裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110481501.6
• 申請日: 2021-04-30
• 公開（公告）號: CN113192876A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊依龍;劉學(xué)濱
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;C23C14/50
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315
• 代理人: 施敬勃

1.一種半導(dǎo)體設(shè)備的承載裝置，其特征在于，包括承載部(100)、保護(hù)環(huán)(300)和多個(gè)絕緣支撐件(400)，其中：

所述承載部(100)包括承載本體(110)和圍繞所述承載本體(110)設(shè)置的外延部(120)，所述外延部(120)與所述承載本體(110)相連，所述承載本體(110)用于承載半導(dǎo)體待加工件(700)；

每個(gè)所述絕緣支撐件(400)具有支撐面，所述保護(hù)環(huán)(300)通過與多個(gè)所述絕緣支撐件(400)的所述支撐面接觸支撐于所述外延部(120)上，且多個(gè)所述絕緣支撐件(400)設(shè)于所述保護(hù)環(huán)(300)與所述承載部(100)之間，以使所述保護(hù)環(huán)(300)與所述承載部(100)之間形成第一間隙(A)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載裝置，其特征在于，所述絕緣支撐件(400)包括第一支撐段(410)，所述外延部(120)開設(shè)有第一定位孔(121)，所述第一支撐段(410)與所述第一定位孔(121)通過間隙配合的方式實(shí)現(xiàn)定位配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的承載裝置，其特征在于，所述絕緣支撐件(400)包括第二支撐段(420)，所述第二支撐段(420)與所述第一支撐段(410)相連，所述保護(hù)環(huán)(300)開設(shè)有第二定位孔(310)，所述第二支撐段(420)與所述第二定位孔(310)定位配合。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的承載裝置，其特征在于，所述第一支撐段(410)在所述絕緣支撐件(400)上的正投影為第一投影，所述第二支撐段(420)在所述絕緣支撐件(400)上的正投影為第二投影，所述第二投影的面積小于所述第一投影的面積，所述第一支撐段(410)與所述第二支撐段(420)相連的表面包括圍繞所述第二支撐段(420)的第一環(huán)形面(421)，所述第一環(huán)形面(421)為所述支撐面。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的承載裝置，其特征在于，所述第二定位孔(310)為條形孔，所述條形孔的至少一端與所述第二支撐段(420)之間形成第二間隙(B)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載裝置，其特征在于，所述承載裝置還包括壓環(huán)(500)，所述壓環(huán)(500)通過接觸支撐于所述保護(hù)環(huán)(300)上，所述承載裝置還包括多個(gè)金屬限位結(jié)構(gòu)件(600)，多個(gè)所述金屬限位結(jié)構(gòu)件(600)與所述保護(hù)環(huán)(300)絕緣設(shè)置；所述金屬限位結(jié)構(gòu)件(600)包括相互連接的固定部(630)和限位帽(610)，所述保護(hù)環(huán)(300)上設(shè)置有容置槽(320)，所述限位帽(610)位于所述容置槽(320)中，且所述限位帽(610)與所述容置槽(320)的底壁之間形成第三間隙(C)，且所述限位帽(610)與所述保護(hù)環(huán)(300)可在所述絕緣支撐件(400)朝向所述保護(hù)環(huán)(300)的方向限位配合，所述固定部(630)穿過所述容置槽(320)的底壁，且與所述外延部(120)固定連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的承載裝置，其特征在于，所述金屬限位結(jié)構(gòu)件(600)還包括連接段(620)，所述連接段(620)的兩端分別與所述限位帽(610)和所述固定部(630)固定相連，所述容置槽(320)的底面開設(shè)有通孔(330)，所述通孔(330)的直徑小于所述限位帽(610)的直徑，所述連接段(620)穿過所述通孔(330)，且所述連接段(620)的外周面與所述通孔(330)的孔壁之間形成第四間隙(D)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的承載裝置，其特征在于，所述連接段(620)包括朝向所述外延部(120)的端面設(shè)置的第二環(huán)形面(620a)，所述第二環(huán)形面(620a)圍繞所述固定部(630)設(shè)置，所述第二環(huán)形面(620a)與所述外延部(120)限位接觸。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的承載裝置，其特征在于，所述外延部(120)開設(shè)有螺紋孔(122)，所述固定部(630)與所述螺紋孔(122)螺紋配合。

10.一種半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，包括反應(yīng)腔室和權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的承載裝置，所述承載裝置設(shè)置在所述反應(yīng)腔室內(nèi)。