[發明專利]微小物檢測裝置

在審

• 申請號: 202110474857.7
• 申請日: 2016-12-08
• 公開（公告）號: CN113188964A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 中井賢也
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G01N15/02
• 分類號: G01N15/02;G01N15/06;G01N15/14;G01N21/03;G01N21/05;G01N21/21;G01N21/49;G01N21/53
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 鄧毅;馬建軍

1.一種微小物檢測裝置，其中，

所述微小物檢測裝置具有第1光學系統和第2光學系統，

所述第1光學系統包含第1反射區域、第2反射區域、第1穿過區域、第2穿過區域和第1受光元件，所述第1光學系統利用所述第1反射區域和所述第2反射區域對照射光照到粒子而散射的散射光進行反射，由此將該散射光引導至所述第1受光元件，

所述第2光學系統穿過所述第2穿過區域從所述粒子直接取入照到所述粒子而散射的所述散射光的一部分，根據所述取入的散射光檢測所述粒子的光學特性，

通過在所述第2反射區域設置所述第1穿過區域，將所述散射光引導至所述第1受光元件，通過在所述第1反射區域設置所述第2穿過區域，將所述散射光引導至所述第2光學系統，

所述第2穿過區域位于與所述第1穿過區域對置的位置，并且位于所述第1反射區域內被由所述第2反射區域中的所述第1穿過區域的周緣反射的所述散射光到達的點包圍的區域的內側。

2.根據權利要求1所述的微小物檢測裝置，其中，

所述第2光學系統檢測所述取入的散射光的光量、偏振和波長中的至少任意一個，作為所述粒子的光學特性。

3.根據權利要求1或2所述的微小物檢測裝置，其中，

所述第2光學系統將被引導至所述第2光學系統的散射光分離成不同的偏振分量，檢測該分離后的散射光的強度。

4.根據權利要求3所述的微小物檢測裝置，其中，

根據被分離成所述偏振分量的散射光的強度，判別所述粒子是否為球形形狀或者所述粒子是否為球形形狀以外的形狀。

5.根據權利要求1～4中的任意一項所述的微小物檢測裝置，其中，

所述第1光學系統檢測所述散射光中的波長與所述照射光的波長不同的光。

6.根據權利要求5所述的微小物檢測裝置，其中，

所述第1光學系統檢測所述散射光中包含的熒光。

7.根據權利要求1～6中的任意一項所述的微小物檢測裝置，其中，

所述第2光學系統檢測所述散射光中的波長與所述照射光的波長不同的光。

8.根據權利要求1～7中的任意一項所述的微小物檢測裝置，其中，

所述第1反射區域為橢圓面形狀的，利用橢圓面形狀的2個焦點的位置來反射從所述粒子到達的散射光并將該散射光引導至所述第1受光元件。

9.根據權利要求8所述的微小物檢測裝置，其中，

所述第2反射區域反射從所述粒子到達的散射光并將該散射光引導至所述第1反射區域，該散射光被所述第1反射區域反射而被引導至所述第1受光元件。

10.根據權利要求9所述的微小物檢測裝置，其中，

所述第2反射區域為球面形狀的。

11.根據權利要求1～9中的任意一項所述的微小物檢測裝置，其中，

所述第2反射區域為非球面形狀的。

12.根據權利要求1～11中的任意一項所述的微小物檢測裝置，其中，

所述第2穿過區域為圓形形狀的。

13.根據權利要求1～12中的任意一項所述的微小物檢測裝置，其中，

所述第2光學系統僅取入某個固定方向的散射光，

所述第1光學系統取入范圍比所述第1光學系統的檢測方向寬的散射光。

14.根據權利要求1～13中的任意一項所述的微小物檢測裝置，其中，

所述第1光學系統取入側方散射光、前方散射光和后方散射光，

所述第2光學系統僅取入側方散射光、前方散射光和后方散射光中的任意一方。