[發明專利]曝光裝置、平板顯示器的制造方法、器件制造方法及曝光方法

在審

• 申請號: 202110472738.8
• 申請日: 2016-03-30
• 公開（公告）號: CN113204177A
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發明（設計）人: 青木保夫
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;王娟娟

一種曝光裝置，借助投影光學系統向基板(P)照射照明光，相對于照明光相對地驅動基板(P)，分別對玻璃基板(P)的多個區域進行掃描曝光，該曝光裝置包括：基板保持件(68)，其對基板(P)的第1區域進行懸浮支承；基板載具(70)，其保持由基板保持件(68)懸浮支承的玻璃基板(P)；X粗調臺(40)，其對基板保持件(68)進行驅動；X音圈馬達(84x)和Y音圈馬達(84y)，二者對基板載具(70)進行驅動；以及控制裝置，其在掃描曝光中對X粗調臺(40)、X音圈馬達(84x)等進行控制，以分別驅動基板保持件(68)和基板載具(70)。由此，能夠提供一種物體位置控制性得到了提高的曝光裝置。

本發明申請是國際申請日為2016年3月30日、國際申請號為PCT/JP2016/060551、進入中國國家階段的國家申請號為201680020108.4、發明名稱為“曝光裝置、平板顯示器的制造方法、器件制造方法及曝光方法”的發明申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及曝光裝置、平板顯示器的制造方法、器件制造方法及曝光方法，更具體來說，涉及相對于照明光對物體進行相對驅動并對物體進行掃描曝光的曝光裝置及方法、以及使用了所述曝光裝置或方法的平板顯示器的制造方法及器件制造方法。

背景技術

目前，在制造液晶顯示元件、半導體元件(集成電路等)等電子器件(微型器件)的光刻工序中，使用步進掃描式曝光裝置(所謂的掃描步進機(也被稱為掃描儀))等,這種曝光裝置使光罩或標線片(以下統稱為“光罩”)、玻璃板或晶圓等(以下統稱為“基板”)沿著規定的掃描方向同步移動，并使用能量束將在光罩上形成的圖案轉印到基板上。

作為這種曝光裝置，公知有為了在水平面內高速且高精度地進行基板定位，而沿著水平面內的三個自由度方向(掃描方向、掃描交叉方向及水平面內的旋轉方向)對用于保持基板的基板保持件進行微小驅動。

伴隨近年來的基板大型化，基板保持件越來越大型化且重量增加，基板的定位控制越來越難。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：美國專利申請公開第2010/0266961號說明書

發明內容

本發明是鑒于上述情況而提出的，第1方面的第1曝光裝置借助光學系統向物體照射照明光，相對于所述照明光相對地驅動所述物體，并對所述物體的多個區域分別進行掃描曝光，該第1曝光裝置包括:支承部，其對所述多個區域中的至少第1區域進行懸浮支承；保持部，其保持由所述支承部懸浮支承的所述物體；第1驅動系統，其對所述支承部進行驅動；第2驅動系統，其對所述保持部進行驅動；以及控制系統，其在與所述第1區域有關的掃描曝光中，對所述第1驅動系統和第2驅動系統進行控制，以分別驅動所述支承部和所述保持部。

本發明第2方面的第2曝光裝置向物體照射照明光，使所述物體沿著第1方向相對于所述照明光相對地移動，并分別對所述物體的多個區域進行掃描曝光，該第2曝光裝置包括：支承部，其對所述多個區域中的至少第1區域進行懸浮支承；保持部，其保持由所述支承部懸浮支承的所述物體；第1驅動系統，其沿著所述第1方向和與所述第1方向交叉的第2方向中的一個方向驅動所述支承部；以及第2驅動系統，其沿著所述第1方向和所述第2方向中的另一個方向，以使得所述第1區域脫離所述支承部的方式，相對于所述支承部相對地驅動所述保持部。

本發明第3方面的第3曝光裝置借助光學系統向物體照射照明光，相對于所述照明光相對地驅動所述物體，對所述物體進行掃描曝光，該第3曝光裝置包括：支承部，其對所述物體進行懸浮支承；保持部，其保持對由所述支承部懸浮支承的所述物體；以及獲取部，其具有設有多個光柵區域的光柵構件和向所述光柵構件照射測量光束的讀頭，獲取關于所述保持部的位置的信息，所述光柵構件和所述讀頭中的一者設置于所述保持部。

本發明第4方面的平板顯示器的制造方法包括以下處理：使用本發明第1曝光裝置至第3曝光裝置中的任一種對所述物體進行曝光；以及對曝光了的所述物體進行顯影。