[發明專利]曝光裝置、平板顯示器的制造方法、器件制造方法及曝光方法

在審

• 申請號: 202110472738.8
• 申請日: 2016-03-30
• 公開（公告）號: CN113204177A
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發明（設計）人: 青木保夫
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;王娟娟

1.一種曝光裝置，其借助光學系統向物體照射照明光，相對于所述照明光相對地驅動所述物體，分別對所述物體的多個區域進行掃描曝光，其特征在于，

該曝光裝置包括：

支承部，其對所述多個區域中的至少第1區域進行懸浮支承；

保持部，其保持由所述支承部懸浮支承的所述物體；

第1驅動系統，其對所述支承部進行驅動；

第2驅動系統，其對所述保持部進行驅動；以及

控制系統，其在與所述第1區域有關的掃描曝光中對所述第1驅動系統和所述第2驅動系統進行控制，以分別對所述支承部和所述保持部進行驅動。

2.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，

所述控制系統在所述掃描曝光中對所述第1驅動系統和所述第2驅動系統進行控制，以相對于所述支承部相對地驅動所述保持部來調整所述物體相對于所述照明光的位置。

3.根據權利要求1或2所述的曝光裝置，其特征在于，

能夠沿著在進行所述掃描曝光時驅動所述物體的第1方向和與所述第1方向交叉的第2方向，相對于所述支承部相對地驅動所述保持部。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的曝光裝置，其特征在于，

所述支承部對所述保持部進行懸浮支承。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的曝光裝置，其特征在于，

所述控制系統分別對所述支承部和所述保持部進行驅動控制，將進行所述掃描曝光的區域從所述第1區域變更為第2區域。

6.根據權利要求5所述的曝光裝置，其特征在于，

所述控制系統在對所述第2區域進行掃描曝光之前，相對于所述支承部相對地驅動所述保持部，將進行所述掃描曝光的所述區域從所述第1區域變更為所述第2區域。

7.根據權利要求5或6所述的曝光裝置，其特征在于，

所述控制系統對所述第2驅動系統進行控制，沿著所述第2方向以使得所述第1區域脫離所述支承部的方式相對于所述支承部相對地驅動所述保持部，將進行所述掃描曝光的所述區域從所述第1區域變更為所述第2區域。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的曝光裝置，其特征在于，

所述支承部對所述第1區域和位置與所述第1區域不同的第2區域進行支承，

所述第2區域是在進行所述掃描曝光時移動所述物體的第1方向和與所述第1方向交叉的第2方向中的至少一個方向上的位置與所述第1區域不同的區域。

9.根據權利要求8所述的曝光裝置，其特征在于，

所述控制系統根據所述第1區域相對于所述照明光的位置和所述第2區域相對于所述照明光的位置，對所述物體的位置進行調整。

10.根據權利要求1至9中任一項所述的曝光裝置，其特征在于，

所述第1驅動系統沿著與所述光學系統的光軸方向平行的第3方向，相對于所述支承部相對地驅動所述保持部。