[發明專利]一種從半導體顯影廢水中回收四甲基氯化銨的方法有效
| 申請號: | 202110464087.8 | 申請日: | 2021-04-28 |
| 公開(公告)號: | CN113200869B | 公開(公告)日: | 2023-06-23 |
| 發明(設計)人: | 仲超;樊振壽;孔磊;王枝松;倪東原 | 申請(專利權)人: | 南京長江江宇環保科技股份有限公司 |
| 主分類號: | C07C209/86 | 分類號: | C07C209/86;C07C211/63;C02F1/00;C02F1/04;C02F101/36 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 210047 江蘇省南*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 半導體 顯影 水中 回收 甲基 氯化銨 方法 | ||
1.一種從半導體顯影廢水中回收四甲基氯化銨的方法,其特征在于,由以下步驟構成:
步驟(1):將四甲基氯化銨廢水過濾后加入減壓蒸餾裝置中進行蒸發結晶;
步驟(2):向步驟(1)蒸發結晶后的蒸發釜內加入清洗劑進行第一次清洗,清洗后進行抽濾;
步驟(3):對步驟(2)得到的晶體用清洗劑進行第二次清洗,清洗后進行抽濾;
步驟(4):將步驟(3)得到的晶體置于真空干燥箱內干燥,干燥后得到白色四甲基氯化銨晶體;
步驟(1)中減壓蒸發結晶的絕對壓力為1~5?kPa;
步驟(2)和步驟(3)中清洗所用清洗劑均為乙酸乙酯;
步驟(2)中清洗劑用量與四甲基氯化銨廢水的質量比為3:16?~?3:8;
步驟(3)中清洗劑用量與四甲基氯化銨廢水的質量比為1:8?~?1:4。
2.根據權利要求1所述的從半導體顯影廢水中回收四甲基氯化銨的方法,其特征在于,步驟(2)和步驟(3)中清洗時間均為2~3h。
3.根據權利要求1所述的從半導體顯影廢水中回收四甲基氯化銨的方法,其特征在于,步驟(4)中真空干燥溫度為40~60℃。
4.根據權利要求1所述的從半導體顯影廢水中回收四甲基氯化銨的方法,其特征在于,步驟(4)中真空干燥時長為3~6h。
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