[發明專利]一種用于無掩膜曝光的照明模組有效
| 申請號： | 202110463944.2 | 申請日： | 2021-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN113156777B | 公開（公告）日： | 2023-06-27 |
| 發明（設計）人： | 桂立 | 申請（專利權）人： | 蘇州賽源光學科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 廣州市越秀區哲力專利商標事務所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 葛燕婷 |
| 地址： | 215000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 無掩膜 曝光 照明 模組 | ||
1.一種用于無掩膜曝光的照明模組，包括準直透鏡組以及匯聚透鏡，其特征在于：所述準直透鏡組包括依次設置的第一準直透鏡，所述第一準直透鏡為凹凸透鏡；第二準直透鏡，所述第二準直透鏡為雙凸透鏡；第三準直透鏡，所述第三準直透鏡為凹凸透鏡；第四準直透鏡，所述第四準直透鏡為平凸透鏡；所述匯聚透鏡為雙凸透鏡，所述準直透鏡組前為物面，所述匯聚透鏡后為像面；或者所述準直透鏡組前為像面，所述匯聚透鏡后為物面，所述第一準直透鏡靠近物面為凹面，靠近像面為凸面，凹面的曲率半徑大于凸面的曲率半徑，所述第二準直透鏡靠近物面的曲率半徑大于靠近像面的曲率半徑，所述第三準直透鏡靠近物面為凸面，靠近像面為凹面，凸面的曲率半徑大于凹面的曲率半徑，所述第四準直透鏡靠近物面為平面，靠近像面為凸面，所述匯聚透鏡靠近物面的曲率半徑與靠近像面的曲率半徑相等，第一準直透鏡的物側：5mmR7.5mm，第一準直透鏡的像側：4mmR6.5mm；
第二準直透鏡的物側：110mmR140mm，第二準直透鏡的像側：11mmR15mm；
第三準直透鏡的物側：8.5mmR11mm，第三準直透鏡的像側：7.5mmR9.5mm；
第四準直透鏡的物側：無窮大，第四準直透鏡的像側：23mmR27mm；
匯聚透鏡的物側：80mmR95mm，匯聚透鏡的像側：80mmR95mm；所述物面與DMD芯片重合。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于蘇州賽源光學科技有限公司，未經蘇州賽源光學科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202110463944.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
