[發明專利]一種脈沖離子源鍍膜引出裝置

有效

• 申請號: 202110446190.X
• 申請日: 2021-04-25
• 公開（公告）號: CN113186504B
• 公開（公告）日: 2022-07-26
• 發明（設計）人: 郭春剛;程國安;鄭瑞廷
• 申請（專利權）人: 北京師范大學
• 主分類號: C23C14/46
• 分類號: C23C14/46
• 代理公司: 北京佳信天和知識產權代理事務所(普通合伙) 11939
• 代理人: 田英楠

1.一種脈沖離子源鍍膜引出裝置，其特征在于，包括脈沖電極，陰極靶材和陽極；

所述陽極包括外筒體和內部的陽極環；

所述陰極靶材與外筒體之間導通；所述陽極環與外筒體之間設置有絕緣材料；所述陰極靶材為柱狀，插入外筒體內，并位于所述外筒體中的陽極環上方；所述陰極靶材中心線穿過陽極環的中心孔；

所述陰極靶材與驅動電機傳動連接，驅動所述陰極靶材向陽極環進給；

所述陰極靶材的離子發射端外側套設有脈沖電極，并且陰極靶材的裸露端伸出所述脈沖電極，所述陰極靶材與脈沖電極之間設置有絕緣套；

所述陽極環連接電源的正極，陰極靶材連接電源的負極或接地，所述脈沖電極連接脈沖電源；

還包括控制器，所述控制器與驅動電機和靶盤的束流分析儀電連接，所述驅動電機的進給速度其中i為靶盤上測得的離子束流，陰極靶材的密度為ρ，陰極靶材的原子量為M，陰極靶材的反應表面面積為S，經過時間t，步進速度為v，陰極靶材的平均電荷態Qa；

所述驅動電機與陰極靶材均安裝在法蘭盤上，所述法蘭盤安裝在所述外筒體上端，并與所述外筒體之間設置金屬連接；所述陰極靶材安裝在法蘭盤下方，其從下方穿過法蘭盤，與安裝在法蘭盤上方的波紋管連接；所述波紋管與驅動電機傳動連接；

所述波紋管上安裝有連接板，所述連接板通過絲桿，光桿與所述驅動電機傳動連接；

所述驅動電機通過支架安裝在所述法蘭盤上，所述絲桿和光桿設置在支架內，所述支架外部設置有刻度線；所述連接板上設置有指針，所述指針指向所述刻度線。

2.如權利要求1所述的脈沖離子源鍍膜引出裝置，其特征在于，所述脈沖電源接入端穿設在法蘭盤上，上端連接脈沖電源，下端連接脈沖電極；位于所述法蘭盤上方脈沖電源接入端外部設有陶瓷材料，與外殼絕緣。

3.如權利要求1所述的脈沖離子源鍍膜引出裝置，其特征在于，所述陽極環與外筒體通過螺紋連接并可調節上下距離。

4.如權利要求1所述的脈沖離子源鍍膜引出裝置，其特征在于，所述陰極靶材的離子發射端外側還套設有電極安裝環，所述電極安裝環固定在脈沖電極上，所述絕緣套安裝在陰極靶材與電極安裝環的中心孔之間。

5.如權利要求1所述的脈沖離子源鍍膜引出裝置，其特征在于，所述陽極環的電源接入端位于外筒體的外壁，所述外筒體位于電源接入端的上、下側外壁均設置有絕緣材料。

6.如權利要求1所述的脈沖離子源鍍膜引出裝置，其特征在于，所述陰極靶材的外側套設有彈簧，所述彈簧的下端抵接絕緣套的頂部，所述彈簧的上端抵接所述法蘭盤的底部。