[發(fā)明專利]一種氣態(tài)污染物一體凈化裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110445073.1
• 申請(qǐng)日: 2021-04-24
• 公開（公告）號(hào): CN113289453B
• 公開（公告）日: 2022-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳水田;夏群艷;黃文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華凈科技有限公司
• 主分類號(hào): B01D53/04
• 分類號(hào): B01D53/04;B01D53/86;B01D53/72;B01D46/00;A61L9/00
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 黃勇;任志龍

本申請(qǐng)涉及空氣凈化技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種氣態(tài)污染物一體凈化裝置。一種氣態(tài)污染物一體凈化裝置，包括凈化箱體，凈化箱體內(nèi)從下至上形成有相互連通的進(jìn)風(fēng)空腔、初效過濾空腔、第一氣態(tài)污染物處理空腔、風(fēng)機(jī)安裝空腔、第二氣態(tài)污染物處理空腔、高效過濾空腔和出風(fēng)空腔，進(jìn)風(fēng)空腔內(nèi)填充有初效過濾網(wǎng)；第一氣態(tài)污染物處理空腔和第二氣態(tài)污染物處理空腔內(nèi)皆填充有氣態(tài)污染物凈化模塊；風(fēng)機(jī)安裝空腔內(nèi)可拆卸連接有風(fēng)機(jī)；高效過濾空腔內(nèi)填充有組合式過濾件；凈化箱體連通有用于清理氣態(tài)污染物凈化模塊的清理裝置。本申請(qǐng)可有效延長(zhǎng)氣態(tài)污染物凈化模塊的維護(hù)周期，降低氣態(tài)污染物凈化模塊的維護(hù)頻率，從而改善半導(dǎo)體的整體生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及空氣凈化技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種氣態(tài)污染物一體凈化裝置。

背景技術(shù)

氣態(tài)污染物是指在常溫常壓下以分子狀態(tài)下存在的污染物，常見的污染物包括硫氧化物、氮氧化物、碳氧化物、揮發(fā)性有機(jī)化合物VOCS等。氣態(tài)污染物處于分子級(jí)別，其粒徑尺寸較小，目前市場(chǎng)上的高效過濾器(HEPA)或者超高效過濾器(ULPA)無法有效除去氣態(tài)污染物。然而，在對(duì)空氣質(zhì)量要求高的場(chǎng)所(如半導(dǎo)體制造環(huán)境)，生產(chǎn)環(huán)境的空氣中彌留著氣態(tài)分子污染物，會(huì)對(duì)所制造的半導(dǎo)體成品率產(chǎn)生不良影響。

相關(guān)技術(shù)中的高效過濾器(HEPA)或者超高效過濾器(ULPA)能過濾空氣中的顆粒雜質(zhì)，對(duì)于氣態(tài)污染物的凈化捉襟見肘。為了對(duì)生產(chǎn)環(huán)境中的氣態(tài)污染物進(jìn)行處理，當(dāng)前的廠家通常是在高效過濾器(HEPA)或者超高效過濾器(ULPA)內(nèi)設(shè)置活性炭纖維毛氈層，活性炭纖維毛氈層位于排氣端和進(jìn)氣端之間，對(duì)氣態(tài)污染物進(jìn)行吸附處理。

上述相關(guān)技術(shù)方案存在以下缺陷：活性炭纖維層吸附氣態(tài)污染物兩至三天就會(huì)達(dá)到吸附飽和點(diǎn)，活性炭纖維毛氈層吸附飽和后，吸附性下降，無法保證凈化空氣的質(zhì)量，因此，需要人工拆卸活性炭纖維層進(jìn)行維護(hù)，但是，人工拆卸較為費(fèi)時(shí)費(fèi)力，會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體整體的生產(chǎn)效率下降。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決相關(guān)技術(shù)中存在需要人工拆卸活性炭纖維層進(jìn)行維護(hù)，會(huì)出現(xiàn)半導(dǎo)體整體的生產(chǎn)效率下降的問題，本申請(qǐng)目的在于提供一種氣態(tài)污染物一體凈化裝置。

本申請(qǐng)的申請(qǐng)目的是通過以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的：

一種氣態(tài)污染物一體凈化裝置，包括凈化箱體，凈化箱體內(nèi)從下至上形成有相互連通的進(jìn)風(fēng)空腔、初效過濾空腔、第一氣態(tài)污染物處理空腔、風(fēng)機(jī)安裝空腔、第二氣態(tài)污染物處理空腔、高效過濾空腔和出風(fēng)空腔，初效過濾空腔內(nèi)填充有初效過濾網(wǎng)；第一氣態(tài)污染物處理空腔和所述第二氣態(tài)污染物處理空腔內(nèi)皆填充有氣態(tài)污染物凈化模塊；風(fēng)機(jī)安裝空腔內(nèi)可拆卸連接有風(fēng)機(jī)；高效過濾空腔內(nèi)填充有組合式過濾件；所述凈化箱體形成有與進(jìn)風(fēng)空腔連通的進(jìn)風(fēng)口；凈化箱體形成有與出風(fēng)空腔連通的排風(fēng)口；凈化箱體可拆卸連接有用于封堵排風(fēng)口的封板；凈化箱體連通有用于清理氣態(tài)污染物凈化模塊的清理裝置。

通過采用上述技術(shù)方案，半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境中的空氣在風(fēng)機(jī)的作用下，依次通過進(jìn)風(fēng)口、進(jìn)風(fēng)空腔、初效過濾網(wǎng)、第一氣態(tài)污染物處理空腔中的氣態(tài)污染物凈化模塊、風(fēng)機(jī)安裝空腔、第二氣態(tài)污染物處理空腔的氣態(tài)污染物凈化模塊、組合式過濾件、出風(fēng)空腔、排風(fēng)口，含有氣態(tài)污染物的空氣進(jìn)行吸附凈化處理，當(dāng)需要進(jìn)行維護(hù)清理時(shí)，用封板封閉封堵排風(fēng)口，開啟清理裝置，對(duì)氣態(tài)污染物凈化模塊進(jìn)行解析處理，改善對(duì)氣態(tài)污染物凈化模塊對(duì)氣態(tài)分子污染物的吸附和處理能力，可有效延長(zhǎng)氣態(tài)污染物凈化模塊的維護(hù)周期，降低氣態(tài)污染物凈化模塊的維護(hù)頻率，從而改善半導(dǎo)體的整體生產(chǎn)效率。

優(yōu)選的，所述清理裝置包括第一清理機(jī)構(gòu)和第二清理機(jī)構(gòu)，第一清理機(jī)構(gòu)用于清理第一氣態(tài)污染物處理空腔中的氣態(tài)污染物凈化模塊；第二清理機(jī)構(gòu)用于清理第二氣態(tài)污染物處理空腔中的氣態(tài)污染物凈化模塊；第一清理機(jī)構(gòu)與第二清理機(jī)結(jié)構(gòu)相同；第一清理機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)流管、引風(fēng)機(jī)、解析件，導(dǎo)流管一端固定連接于凈化箱體且與第一氣態(tài)污染物處理空腔連通；導(dǎo)流管另一端與引風(fēng)機(jī)固定連通，用于將第一氣態(tài)污染物處理空腔中的空氣導(dǎo)出；解析件用于解析出氣態(tài)污染物凈化模塊吸附的氣態(tài)污染物。