[發(fā)明專利]一種高穩(wěn)定的CMP拋光液有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110444766.9 | 申請日： | 2021-04-24 |
| 公開（公告）號： | CN113214741B | 公開（公告）日： | 2022-03-11 |
| 發(fā)明（設計）人： | 王繼寶;周翠蘋 | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳市撒比斯科技有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京維正專利代理有限公司 11508 | 代理人： | 魏坤宇 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 穩(wěn)定 cmp 拋光 | ||
1.一種高穩(wěn)定的CMP拋光液，其特征在于，每100重量份的拋光液中包括磨料20-50份、pH調(diào)節(jié)劑0.3-8份、聚醚多元醇2-5份、羥基丁酸0.005-0.008份、表面活性劑0.01-0.15份、余量為水；
所述磨料為硅溶膠和二氧化鈦水溶膠的混合物，硅溶膠和二氧化鈦水溶膠的重量比為1：(0.05-0.15)；
pH調(diào)節(jié)劑為氫氧化鈉和二甲基乙酰胺的混合物，氫氧化鈉和二甲基乙酰胺的重量比為1：(0.8-1)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高穩(wěn)定的CMP拋光液，其特征在于：所述聚醚多元醇的平均分子量為700-2000。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高穩(wěn)定的CMP拋光液，其特征在于：所述表面活性劑為陰離子型表面活性劑。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種高穩(wěn)定的CMP拋光液，其特征在于：所述表面活性劑為陰離子聚丙烯酰胺和烷基苯磺酸鈉的混合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種高穩(wěn)定的CMP拋光液，其特征在于：所述陰離子聚丙烯酰胺和烷基苯磺酸鈉的重量比為(0.05-0.3)：1。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種高穩(wěn)定的CMP拋光液，其特征在于：所述烷基苯磺酸鈉為十二烷基苯磺酸鈉。
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