[發明專利]GaN功率器件靜態參數的自動測試系統及其測試方法

在審

• 申請號: 202110429972.2
• 申請日: 2021-04-21
• 公開（公告）號: CN113189467A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 陳麗萍;柳永勝;陳輝;程新
• 申請（專利權）人: 蘇州英嘉通半導體有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R31/01
• 代理公司: 南京聚匠知識產權代理有限公司 32339
• 代理人: 劉囝

1.一種GaN功率器件靜態參數的自動測試系統，其特征在于，包括：

測試儀器，與測試板、串口連接，所述測試儀器接收串口傳輸的信號，并根據接收的信號信息提供給測試板對應的電壓、電流；所述測試儀器對測試板的輸出電壓、電流信號進行測量，并將測量結果傳輸至串口；

測試板，與所述測試儀器連接，在測試儀器提供的電壓、電流下工作，工作完成后的輸出結果由測試儀器進行測量；

串口，與測試儀器、上位機連接，串聯所述測量儀器和所述上位機；

上位機，通過所述串口，控制所述測試儀器的輸出電壓、電流，并讀取所述測試儀器的輸入電壓、電流進行數據處理。

2.根據權利要求1所述的一種GaN功率器件靜態參數的自動測試系統，其特征在于，所述測試儀器為可編程控制的數字源表。

3.根據權利要求1所述的一種GaN功率器件靜態參數的自動測試系統，其特征在于，所述測試板包括測試板本體、固定安裝在測試板本體上用于放置待測試芯片的負載測試座和用于與所述測量儀器接線的插座。

4.根據權利要求1所述的一種GaN功率器件靜態參數的自動測試系統，其特征在于，所述串口為RS232C串口。

5.根據權利要求1所述的一種GaN功率器件靜態參數的自動測試系統，其特征在于，所述上位機內的編程控制軟件基于labview開發，通過將所有常規靜態參數測試內容的測試程序預先編好，在控制軟件操作界面設定測試項輸入框、測試使能勾選按鈕、測試參數輸入框和測試門限輸入框，在測試項輸入框中輸入已預編程好的一個或多個測試項目名稱，并勾選測試使能勾選按鈕，然后在對應的測試參數和測試門限輸入框中輸入需要的數值。

6.根據權利要求5所述的一種GaN功率器件靜態參數的自動測試系統，其特征在于，所述上位機編程控制軟件操作界面設有數據保存勾選按鈕和文件路徑選擇按鈕，若勾選數據保存按鈕，則測試前點擊文件路徑選擇按鈕輸入數據保存路徑和文件名，測試完成后數據會保存到對應的文件中；若不勾選數據保存按鈕，則測試完成后測試數據不進行保存。

7.根據權利要求5所述的一種GaN功率器件靜態參數的自動測試系統，其特征在于，所述上位機編程控制軟件操作界面設有測試次數輸入框，若輸入框不輸入數值，默認為0，則程序不執行；若輸入框輸入值為1，則所選定測試項目全部執行一次測試結束；若輸入框輸入值為n，n為大于1的自然數，則所選定測試項目循環執行n次測試結束。

8.根據權利要求5所述的一種GaN功率器件靜態參數的自動測試系統，其特征在于，所述上位機編程控制軟件操作界面設有測試結果指示燈和測試數據顯示框，測試完成后，若測試結果在設定的測試門限范圍內，則表示測試結果正確，指示燈顯示綠色，否則指示燈顯示灰色，同時測試數據顯示框中會顯示當前的測試數據。

9.一種GaN功率器件靜態參數的自動測試系統的測試方法，其特征在于，自動測試系統為權利要求1-8中任意一項權利要求所述的一種GaN功率器件靜態參數的自動測試系統，整個測試方法包括如下步驟：

步驟S1、完成所述測試儀器與所述測試板、所述串口、所述上位機的接線連接，并在測試板的測試座上放置待測試芯片；

步驟S2、開啟測試儀器的開關，打開上位機內軟件，搜尋到所述測試儀器的串口編號并連接；

步驟S3、在上位機上選擇是否需要保存數據；

步驟S4、設定測試的循環次數；

步驟S5、選擇需要的測試項，并設定已選擇測試項的測試參數和測試門限；

步驟S6、在上位機上點擊運行按鈕，待運行結束后，觀察測試結果指示燈的狀態，確認測試結果的正確與否；若測試結果不正確，可查看當前的測試數據，確認測試失效的原因，并對測試失效的芯片進行標記，完成測試。