[發明專利]一種鍍膜遮擋裝置及包含其的鍍膜裝置

有效

• 申請號: 202110411111.1
• 申請日: 2021-04-16
• 公開（公告）號: CN113278926B
• 公開（公告）日: 2022-06-03
• 發明（設計）人: 安永;肖暢;閆海濤
• 申請（專利權）人: 布勒萊寶光學設備（北京）有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/50
• 代理公司: 北京鍾維聯合知識產權代理有限公司 11579
• 代理人: 安娜

1.一種鍍膜裝置，其特征在于，包括：真空室，所述真空室的上方設置有旋轉驅動裝置，所述真空室的內部設置有弧形旋轉架，所述弧形旋轉架與所述旋轉驅動裝置連接，其中，所述弧形旋轉架上設置有多個鍍膜遮擋裝置；

所述鍍膜遮擋裝置包括：驅動部、固定板、鍍膜板、第一支撐板、第二支撐板、第一導向桿、第二導向桿、擋板和滑動結構；

所述第一支撐板和所述第二支撐板分別設置在所述固定板的兩側；

所述鍍膜板設置在所述固定板上，并設置有第一滑槽和第二滑槽以及用于放置待加工件的開孔；

所述第一導向桿和所述第二導向桿間隔設置在所述第一支撐板和所述第二支撐板之間；

所述滑動結構包括滑塊、第一連接桿和第二連接桿；所述滑塊滑動設置在所述第一導向桿和所述第二導向桿上，并與所述驅動部連接；所述第一連接桿和所述第二連接桿的一端分別與所述滑塊連接，另一端分別穿過所述第一滑槽和所述第二滑槽與所述擋板連接；

所述擋板在所述驅動部的作用下，沿滑槽前后移動以擋住或露出所述待加工件。

2.根據權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述弧形旋轉架上形成有多個安裝孔，所述鍍膜板嵌入所述安裝孔中，所述固定板固定在所述弧形旋轉架上。

3.根據權利要求2所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述固定板通過螺栓固定在所述弧形旋轉架上。

4.根據權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述真空室上還設置有真空插頭，所述真空插頭與所述驅動部通過無線或者有線的方式連接。

5.根據權利要求4所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述真空室上還設置有導電滑環，所述真空插頭和所述驅動部通過所述導電滑環連接。

6.根據權利要求4所述的鍍膜裝置，其特征在于，所述真空插頭和所述驅動部通過無線方式連接。

7.根據權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于，還包括：設置在所述弧形旋轉架的底部的蒸發源，以及設置在所述真空室兩側的膜厚控制器。