[發明專利]一種光電晶體管及其制備方法

在審

• 申請號: 202110389048.6
• 申請日: 2021-04-12
• 公開（公告）號: CN113113546A
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發明（設計）人: 李武;陳雅妮
• 申請（專利權）人: 深圳大學
• 主分類號: H01L51/48
• 分類號: H01L51/48;H01L51/46;H01L51/42
• 代理公司: 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268
• 代理人: 徐凱凱

1.一種光電晶體管的制備方法，其特征在于，包括步驟：

將石墨烯轉移至絕緣襯底上；

在所述石墨烯上制備預定圖形的金屬電極，制得石墨烯晶體管；

將生物光敏分子嫁接在所述石墨烯晶體管上，制得所述光電晶體管。

2.根據權利要求1所述光電晶體管的制備方法，其特征在于，在所述石墨烯上制備預定圖形的金屬電極的步驟包括：

利用電子束刻蝕工藝在石墨烯上依次進行旋涂光刻膠、曝光、顯影、沉積金屬電極、去除光刻膠處理，得到預定圖形的金屬電極；

或者，將刻有預定圖形的金屬掩板置于所述石墨烯上，在所述預定圖形的金屬掩板上沉積金屬電極，得到預定圖形的金屬電極。

3.根據權利要求2所述光電晶體管的制備方法，其特征在于，所述金屬電極材料為Au、Cr、Ag、Ti、Al或Nb中的一種。

4.根據權利要求2所述光電晶體管的制備方法，其特征在于，將生物光敏分子嫁接在所述石墨烯晶體管上的步驟包括：

將所述生物光敏分子溶于有機溶劑中并進行超聲處理，得到生物光敏溶液；

將所述生物光敏溶液滴涂到所述石墨烯晶體管上并進行烘干處理，使所述光敏分子嫁接在所述石墨烯晶體管上。

5.根據權利要求4所述光電晶體管的制備方法，其特征在于，將生物光敏分子嫁接在所述石墨烯晶體管上的步驟包括：

將所述生物光敏分子溶于有機溶劑中并進行超聲處理，得到生物光敏溶液；

采用熱蒸發法將所述生物光敏溶液中的生物光敏分子直接蒸發在所述石墨烯晶體管上。

6.根據權利要求4-5任一所述光電晶體管的制備方法，其特征在于，所述生物光敏分子為卟啉、卟啉衍生物、酞菁和酞菁衍生物中的一種或多種。

7.根據權利要求4-5任一所述光電晶體管的制備方法，其特征在于，所述有機溶劑為乙醇，丙酮，乙腈，二氯甲烷和四氫呋喃中的一種或多種。

8.根據權利要求1所述光電晶體管的制備方法，其特征在于，所述將生物光敏分子嫁接在所述石墨烯晶體管上之前還包括步驟：

采用拉曼光譜對制得的石墨烯晶體管進行篩選，得到篩選后石墨烯晶體管。

9.根據權利要求1所述光電晶體管的制備方法，其特征在于，所述將生物光敏分子嫁接在所述石墨烯晶體管上之后還包括步驟：

采用拉曼光譜檢測生物光敏分子和石墨烯晶體管的復合效果。

10.一種光電晶體管，其特征在于，采用權利要求1-9任一所述光電晶體管的制備方法制得。