[發明專利]基于絲網印刷的亞微米壓印設備及其控制方法

在審

• 申請號: 202110385026.2
• 申請日: 2021-04-09
• 公開（公告）號: CN113050371A
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發明（設計）人: 陳燕平;偰正才;阮雙琛;翟劍龐
• 申請（專利權）人: 深圳技術大學
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 深圳市力道知識產權代理事務所(普通合伙) 44507
• 代理人: 張傳義

1.一種基于絲網印刷的亞微米壓印設備，其特征在于，包括：

絲網印刷機本體；

壓印平臺，設置在所述絲網印刷機本體上，用于承載待壓印的基片；

可加熱壓印頭，設置在所述絲網印刷機本體上；

網框，設置在所述絲網印刷機本體上，且位于所述壓印平臺的上方；

印版，設置在所述網框上，所述印版包括亞微米級的圖案；

其中，所述可加熱壓印頭包括壓印部件、加熱部件、溫度傳感器和控制器，所述控制器與所述加熱部件連接，用于控制所述加熱部件對所述壓印部件進行加熱，所述壓印部件用于與所述印版接觸，所述溫度傳感器與所述控制器連接，用于測量所述可加熱壓印頭的溫度；

在設備工作時，控制所述可加熱壓印頭的溫度在預設溫度范圍內，并通過所述絲網印刷機本體的控制系統控制所述可加熱壓印頭對所述印版施加壓力并運動以實現刮印，以將所述印版上的亞微米級的圖案壓印到所述基片上的壓印膠上。

2.根據權利要求1所述的壓印設備，其特征在于，所述壓印設備還包括：

發光燈管；

驅動部件，所述發光燈管安裝在所述驅動部件上且位于所述壓印平臺的承載板下，所述承載板為透光板，所述驅動部件用于驅動所述發光燈管相對所述壓印平臺運動；

在設備工作時，通過所述絲網印刷機本體的控制系統控制所述可加熱壓印頭對所述印版施加壓力并運動以實現刮印，同時控制所述驅動部件驅動所述發光燈管運動，以使所述發光燈管發出的光線透過所述承載板照射在所述基片，以將所述印版上的亞微米級的圖案壓印到所述基片上的壓印膠上。

3.根據權利要求2所述的壓印設備，其特征在于，在設備工作時，所述發光燈管和所述可加熱壓印頭均沿同一方向運動；

其中，所述發光燈管的運動速率和所述可加熱壓印頭的運動速率相同。

4.根據權利要求1所述的壓印設備，其特征在于，所述壓印部件包括：

接觸部，所述接觸部用于與所述印版接觸，其中，所述接觸部呈預設傾角設置。

5.根據權利要求4所述的壓印設備，其特征在于，所述接觸部為線性接觸部，所述壓印部件與所述印版接觸為線性接觸。

6.根據權利要求2所述的壓印設備，其特征在于，所述發光燈管包括：

發光部，所述發光部為線性發光部，并與所述壓印部件的接觸部的形狀相匹配。

7.根據權利要求1所述的壓印設備，其特征在于，所述絲網印刷機本體包括：

限位槽，所述網框通過所述限位槽與所述絲網印刷機本體可拆卸連接。

8.根據權利要求1所述的壓印設備，其特征在于，所述可加熱壓印頭還包括：

隔熱件，設置在所述壓印部件中遠離所述壓印平臺的一端。

9.一種控制方法，其特征在于，應用于如權利要求1-8任一項所述的壓印設備，所述控制方法包括：

通過控制器控制加熱部件對所述壓印部件進行加熱以使所述可加熱壓印頭的溫度在預設溫度范圍內；

通過所述絲網印刷機本體的控制系統控制所述可加熱壓印頭對所述印版施加壓力，并控制所述可加熱壓印頭運動，以將所述印版上的亞微米級的圖案壓印到所述基片上的壓印膠上。

10.根據權利要求9所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法還包括：

獲取用戶選擇的壓印模式，所述壓印模式包括熱固化模式和光固化模式；

其中，所述熱固化模式為：控制所述可加熱壓印頭的溫度在預設溫度范圍內，并通過所述絲網印刷機本體的控制系統控制所述可加熱壓印頭對所述印版施加壓力并運動以實現刮印，以將所述印版上的亞微米級的圖案壓印到所述基片上的壓印膠上；

所述光固化模式為：通過所述絲網印刷機本體的控制系統控制所述可加熱壓印頭對所述印版施加壓力并運動以實現刮印,同時控制所述驅動部件驅動所述發光燈管運動，以使所述發光燈管發出的光線透過所述承載板照射在所述基片，以將所述印版上的亞微米級的圖案壓印到所述基片上的壓印膠上。