[發(fā)明專利]一種可拆卸的半導體分析裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110384637.5
• 申請日: 2021-04-09
• 公開（公告）號: CN113109357B
• 公開（公告）日: 2021-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳龍軍;廖廣蘭
• 申請（專利權(quán)）人: 徐州盛科半導體科技有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 南京禹為知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(特殊普通合伙) 32272
• 代理人: 王曉東

1.一種可拆卸的半導體分析裝置，其特征在于：包括，

支撐組件（100），所述支撐組件（100）包括平臺（101）和調(diào)節(jié)臺（102），所述調(diào)節(jié)臺（102）固定豎直設(shè)置在所述平臺（101）的一側(cè)；

轉(zhuǎn)向組件（200），所述轉(zhuǎn)向組件（200）包括抽拉部件（201）、固定外殼（202）和卡合件（203），所述平臺（101）上設(shè)置容置槽（101a），所述容置槽（101a）一側(cè)貫穿連通，所述抽拉部件（201）滑動設(shè)置在所述容置槽（101a）內(nèi)，所述固定外殼（202）可安裝在所述抽拉部件（201）中，所述卡合件（203）一端連接所述容置槽（101a）端壁，另一端可伸入所述抽拉部件（201）中連接所述固定外殼（202）；

所述容置槽（101a）兩側(cè)設(shè)置第一滑槽（101b），所述抽拉部件（201）兩側(cè)設(shè)置第一滑塊（201a），所述第一滑塊（201a）嵌于所述第一滑槽（101b）內(nèi)，所述抽拉部件（201）上設(shè)置方槽（201b），所述固定外殼（202）安裝在所述方槽（201b）內(nèi)；

所述卡合件（203）包括滑動板（203a）和固定塊（203b），所述方槽（201b）兩側(cè)設(shè)置第二滑槽（201c），所述滑動板（203a）設(shè)置在所述方槽（201b）內(nèi)并且兩側(cè)嵌于所述第二滑槽（201c）中，所述固定塊（203b）一端固定連接所述容置槽（101a）端壁，另一端可伸入所述抽拉部件（201）中連接所述滑動板（203a）；

所述抽拉部件（201）的一端設(shè)置橫通口（201d），所述固定塊（203b）穿過所述橫通口（201d）進入所述方槽（201b）內(nèi)，所述固定塊（203b）伸入所述方槽（201b）的一端設(shè)置橫槽（203b-1），所述滑動板（203a）一端設(shè)置橫條（203a-1），所述橫條（203a-1）與所述橫槽（203b-1）配合；

所述轉(zhuǎn)向組件（200）還包括轉(zhuǎn)軸（204）和限位盤（205），所述滑動板（203a）相對于所述橫條（203a-1）另一端設(shè)置凸柱（203a-2），所述固定外殼（202）的一端設(shè)置環(huán)殼（202a），另一端設(shè)置圓槽（202b），所述凸柱（203a-2）可伸入所述環(huán)殼（202a）進行配合，所述抽拉部件（201）相對于所述橫通口（201d）的另一端設(shè)置通孔（201e），所述限位盤（205）固定連接所述抽拉部件（201），所述轉(zhuǎn)軸（204）穿過所述限位盤（205）和通孔（201e）伸入所述圓槽（202b）內(nèi)。

2.如權(quán)利要求1所述的可拆卸的半導體分析裝置，其特征在于：所述抽拉部件（201）的一端與所述容置槽（101a）的端壁通過第一彈性件（A）活動連接。

3.如權(quán)利要求1或2所述的可拆卸的半導體分析裝置，其特征在于：所述限位盤（205）上設(shè)置環(huán)槽（205a）和限位孔（205b），所述限位孔（205b）圓周設(shè)置在所述環(huán)槽（205a）的外圍，所述轉(zhuǎn)軸（204）一端設(shè)置連桿（204a），所述連桿（204a）上設(shè)置卡塊（204b）和彈簧（204c），所述卡塊（204b）可嵌入所述限位孔（205b）內(nèi)進行配合，所述彈簧（204c）另一端設(shè)置環(huán)板（204d），所述環(huán)板（204d）嵌于所述環(huán)槽（205a）內(nèi)。

4.如權(quán)利要求3所述的可拆卸的半導體分析裝置，其特征在于：還包括紅外分析組件（300），其包括移動板（301）、第一連接板（302）、第二連接板（303）和紅外成像器（304），所述移動板（301）活動設(shè)置在所述調(diào)節(jié)臺（102）上，所述第一連接板（302）一端螺栓連接所述移動板（301），另一端鉸接所述第二連接板（303），第二連接板（303）的另一端連接所述紅外成像器（304）。

5.如權(quán)利要求4所述的可拆卸的半導體分析裝置，其特征在于：所述調(diào)節(jié)臺（102）上豎直設(shè)置T型槽（102a），所述移動板（301）呈“T型”結(jié)構(gòu)，所述移動板（301）嵌于所述T型槽（102a）內(nèi)，所述第二連接板（303）的一端設(shè)置圓孔（303a），所述紅外成像器（304）一側(cè)設(shè)置圓柱（304a），所述圓柱（304a）伸入所述圓孔（303a）進行轉(zhuǎn)動連接。

6.如權(quán)利要求5所述的可拆卸的半導體分析裝置，其特征在于：所述紅外分析組件（300）還包括限位板（305），所述限位板（305）安裝在所述移動板（301）上，所述移動板（301）上垂直設(shè)置一對方板（301a），所述限位板（305）內(nèi)部中心設(shè)置空心槽（305a），所述空心槽（305a）兩側(cè)貫穿連通并且空心槽（305a）內(nèi)設(shè)置長塊（305b），所述長塊（305b）兩側(cè)伸出所述空心槽（305a）與所述方板（301a）連接，所述長塊（305b）與所述空心槽（305a）內(nèi)端壁通過第二彈性件（B）連接；

所述調(diào)節(jié)臺（102）上設(shè)置卡槽（102b），所述卡槽（102b）豎直設(shè)置多個并且與所述T型槽（102a）連通，所述限位板（305）可穿過所述卡槽（102b）。