[發明專利]一種高通量掃描探針顯微成像系統

在審

• 申請號: 202110383710.7
• 申請日: 2021-04-09
• 公開（公告）號: CN112945960A
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發明（設計）人: 黃博遠;李江宇
• 申請（專利權）人: 南方科技大學
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 潘登

1.一種高通量掃描探針顯微成像系統，其特征在于，包括：依次連接的波形發生器和成像裝置，所述成像裝置包括控制器和檢測操作部分；

所述波形發生器用于產生激勵信號，所述激勵信號為至少兩個子波形按預設拼接順序合成的信號；

所述檢測操作部分，用于將所述激勵信號施加至待測目標的多個像素點以獲得每個像素點對應的測試結果信號；

所述控制器與所述檢測操作部分連接，用于將從所述波形發生器接收的所述激勵信號傳輸至所述檢測操作部分，并從所述檢測操作部分接受對應的測試結果信號，并基于所述測試結果信號和拼接順序生成待測目標的測試結果。

2.根據權利要求1所述的高通量掃描探針顯微成像系統，其特征在于，所述控制器包括：第一輸入接口、第一輸出接口和第二輸出接口，所述波形發生器包括：第一信號輸入接口、第二信號輸入接口、第一信號輸出接口和觸發接口；所述控制器的第二輸出接口與所述波形發生器的觸發接口連接，用于當掃描信號達到觸發點時，所述控制器將生成的觸發信號傳輸至所述波形發生器。

3.根據權利要求2所述的高通量掃描探針顯微成像系統，所述波形發生器在所述成像裝置掃描前生成激勵信號，其特征在于，在所述波形發生器接收到所述控制器傳輸的觸發信號后，所述波形發生器將激勵信號轉換為預設采樣頻率的模擬信號。

4.根據權利要求3所述的高通量掃描探針顯微成像系統，其特征在于，所述波形發生器的第一信號輸出接口與波形發生器的第二信號輸入接口以及所述控制器的第一輸入接口連接，用于將所述波形發生器生成的預設采樣頻率的模擬信號輸出至所述控制器并實時進行信號記錄。

5.根據權利要求1所述的高通量掃描探針顯微成像系統，其特征在于，所述控制器的第一輸出接口與所述波形發生器的第一信號輸入接口連接，用于將所述檢測操作部分生成的所述測試結果信號輸出至所述波形發生器進行數據收集。

6.根據權利要求1所述的高通量掃描探針顯微成像系統，其特征在于，還包括終端設備；

所述終端設備與波形發生器和成像裝置連接，用于對所述波形發生器和所述成像裝置進行控制，且將所述波形發生器收集的數據進行后處理和顯示。

7.根據權利要求1所述的高通量掃描探針顯微成像系統，其特征在于，所述檢測操作部分包括掃描探針，所述掃描探針依次將所述激勵信號施加至待測目標的多個像素點以獲得每個像素點對應的測試結果信號。

8.根據權利要求7所述的高通量掃描探針顯微成像系統，其特征在于，所述檢測操作部分包括懸臂梁，所述懸臂梁與所述掃描探針連接，所述懸臂梁根據所述掃描探針與所述待測目標之間的相互作用力進行偏轉或振動；所述測試結果信號根據激光照射在所述懸臂梁上形成的反射光的偏移量確定。

9.根據權利要求1所述的高通量掃描探針顯微成像系統，其特征在于，所述子波形具有不同特性參數，所述不同特征參數包括不同頻率、不同周期、不同幅值和不同相位中的一種或多種。