[發明專利]基于邊緣場和深度學習的檢查方法

在審

• 申請號: 202110379223.3
• 申請日: 2021-04-08
• 公開（公告）號: CN113514394A
• 公開（公告）日: 2021-10-19
• 發明（設計）人: 趙訓民;林鐘奎;樸鐘寬
• 申請（專利權）人: 康耐視公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/88
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋融冰

1.一種缺陷檢查裝置，其特征在于，

包括：

照明系統，以向檢查對象物體表面透射按照區域具有不同照度的照明圖案的方式設計；

拍攝部，用于獲取上述檢查對象物體的圖像數據；

一個以上的處理器，用于處理上述圖像數據；以及

存儲器，存儲基于深度學習的模型，

在一個以上的上述處理器中，

通過控制上述照明系統，來使得上述照明系統向上述檢查對象物體表面透射按照區域具有不同照度的照明圖案，

向上述基于深度學習的模型輸入通過上述拍攝部獲取的圖像數據，上述圖像數據包括因所透射的上述照明圖案而在物體表面的至少一區域所產生的照度的劇烈變化，

利用上述基于深度學習的模型判斷上述檢查對象物體表面的缺陷。

2.根據權利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，上述照明系統包括多個光源，上述多個光源以事先確定的間隔配置。

3.根據權利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，上述照明系統包括多個光源，通過控制上述多個光源中的每個光源的操作來向上述檢查對象的物體表面透射按照區域具有不同照度的照明圖案。

4.根據權利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，上述照明系統包括由至少兩個組合構成的多個光源。

5.根據權利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，上述照明系統包括多個光源，在上述多個光源發光的情況下，在上述檢查對象物體表面的一區域所包含的每單位面積的邊緣場的數量至少與其他區域不同。

6.根據權利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，上述照明圖案以照度劇烈變化的照度變化區域覆蓋上述檢查對象物體表面的至少一部分的方式構成。

7.根據權利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，上述處理器控制上述照明系統，使得上述照明系統以線形、多邊形或圓形圖案透射照明圖案。

8.根據權利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，上述處理器通過向基于深度學習的模型輸入在互不相同的照明圖案下獲取的多個圖像數據來判斷檢查對象物體表面的缺陷。

9.根據權利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，

上述照明系統由配置多個光源的多個照明板構成，

上述照明板形成一區域沖孔的形態，以使得從位于上部層的照明板透射的光的至少一部分到達檢查對象物體表面。

10.根據權利要求1所述的缺陷檢查裝置，其特征在于，上述處理器還從上述圖像數據提取照度劇烈變化的照度變化區域。

11.一種存儲有計算機程序的計算機可讀存儲介質，其特征在于，

當在一個以上的處理器運行上述計算機程序時，執行用于檢查缺陷的以下動作，

上述動作包括：

控制照明系統，以使得以透射不同照明圖案的方式設計的照明系統向檢查對象物體表面透射按照區域不同的照明圖案；

向基于深度學習的模型輸入通過拍攝部獲取的圖像數據，上述圖像數據包括因所透射的上述照明圖案而在物體表面的至少一區域所產生的照度的劇烈變化；以及

利用上述基于深度學習的模型判斷上述檢查對象物體表面的缺陷。

12.一種用于檢查檢查對象物體表面是否具有缺陷的方法，其在缺陷檢查裝置中執行，其特征在于，包括如下的步驟：

控制照明系統，以使得以透射不同照明圖案的方式設計的照明系統向檢查對象物體表面透射按照區域不同的照明圖案；

向基于深度學習的模型輸入通過拍攝部獲取的圖像數據，上述圖像數據包括因所透射的上述照明圖案而在物體表面的至少一區域所產生的照度的劇烈變化；以及

利用上述基于深度學習的模型判斷上述檢查對象物體表面的缺陷。