[發明專利]一種壓電慣性驅動模塊

有效

• 申請號: 202110375223.6
• 申請日: 2021-04-08
• 公開（公告）號: CN112865595B
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發明（設計）人: 朱凱;王振華;孫源;陳椿元;劉如德
• 申請（專利權）人: 上海隱冠半導體技術有限公司
• 主分類號: H02N2/02
• 分類號: H02N2/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本發明涉及驅動技術領域，公開一種壓電慣性驅動模塊，壓電陶瓷疊堆、第一慣性質量塊組均位于壓電慣性驅動模塊的中心軸上，第一摩擦頭的設置位置、第二摩擦頭的設置位置關于壓電慣性驅動模塊的中心軸對稱，實現整個壓電慣性驅動模塊為對稱結構，保證壓電慣性驅動模塊沿正反兩個方向具有相同的運動狀態，保證壓電慣性驅動模塊在正、反方向運動的過程中具有相同的驅動力、速度和振動，便于控制輸出位移的速度和精度；能夠降低壓電慣性驅動模塊的精度控制的難度，提高壓電慣性驅動模塊的負載能力；簡化了壓電慣性驅動模塊的內部結構和驅動方式。

技術領域

本發明涉及驅動技術領域，尤其涉及一種壓電慣性驅動模塊。

背景技術

隨著精密制造、半導體、醫療設備等行業的發展，高精度、高分辨率的精密運動驅動裝置的市場需求日益增多，各種新結構、新技術不斷涌現。壓電慣性電機作為精密運動驅動裝置的一種，目前已被廣泛認知，諸如美國專利US10250164B2所述慣性電機，其原理是通過摩擦副之間的“粘滯-滑移”效應和壓電陶瓷的驅動而產生位移。

現階段主流的壓電慣性驅動模塊，結構具有單向性；當其需要驅動負載分別向正反兩個方向運動時，需通過多組模塊共同作用并控制驅動波形相位差的方法才能實現，其內部結構和驅動方式均相對復雜。

發明內容

為了克服現有技術的缺陷，本發明提供了一種壓電慣性驅動模塊。

為達此目的，本發明采用以下技術方案：

一種壓電慣性驅動模塊，包括壓電陶瓷疊堆，還包括第一慣性質量塊組、第一摩擦頭、第二摩擦頭；其中：

所述壓電陶瓷疊堆、所述第一慣性質量塊組均位于所述壓電慣性驅動模塊的中心軸上；

所述第一摩擦頭的設置位置、所述第二摩擦頭的設置位置關于所述壓電慣性驅動模塊的中心軸對稱；所述第一摩擦頭、所述第二摩擦頭分別與所述第一慣性質量塊組連接；

所述第一摩擦頭、所述第二摩擦頭分別與所述壓電陶瓷疊堆柔性連接。

作為上述壓電慣性驅動模塊的一種優選技術方案，所述壓電慣性驅動模塊還包括第一支撐子模塊，所述第一支撐子模塊包括第一支撐件、第二支撐件、第三支撐件和第四支撐件；所述第一支撐件、所述第四支撐件為柔性件；

所述第一支撐件的一端、所述第二支撐件、所述第一慣性質量塊組、所述第三支撐件和所述第四支撐件的一端依次相連；所述壓電陶瓷疊堆的兩端分別與所述第一支撐件的另一端和所述第四支撐件的另一端均直接或間接相連；

所述第一摩擦頭位于所述第一支撐件、所述第二支撐件的連接處；所述第二摩擦頭位于所述第三支撐件、所述第四支撐件的連接處。

作為上述壓電慣性驅動模塊的一種優選技術方案，所述第一支撐件、所述第四支撐件的設置位置關于所述壓電慣性驅動模塊的中心軸對稱；

所述第二支撐件、所述第三支撐件的設置位置關于所述壓電慣性驅動模塊的中心軸對稱。

作為上述壓電慣性驅動模塊的一種優選技術方案，所述第二支撐件、所述第一慣性質量塊組、所述第三支撐件依次連接形成一個向所述壓電陶瓷疊堆內凹的結構。

作為上述壓電慣性驅動模塊的一種優選技術方案，所述第一支撐件和所述第二支撐件通過第一剛性件連接，所述第一摩擦頭設于所述第一剛性件上；

所述第三支撐件和所述第四支撐件通過第二剛性件連接，所述第二摩擦頭設于所述第二剛性件上。