[發(fā)明專利]一種利用直流電弧等離子體批量制備微孔金剛石涂層拉絲模具的裝置及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110369981.7
• 申請日: 2021-04-07
• 公開（公告）號: CN112831770A
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發(fā)明（設計）人: 蘇慧濤
• 申請（專利權）人: 河南贊碳科技有限公司
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/50
• 代理公司: 鄭州三陽專利代理事務所(普通合伙) 41175
• 代理人: 范向南

1.一種利用直流電弧等離子體批量制備微孔金剛石涂層拉絲模具的裝置，包括真空室，其特征在于：所述真空室內(nèi)設置有隔板，隔板將真空室分為上腔室和下腔室；上腔室頂部設置有進氣孔，進氣孔內(nèi)設置有正極體和負極體，正極體接直流電源的正極、負極體接直流電源的負極；下腔室底部設置有出氣通道，出氣通道外側(cè)設置有磁環(huán)；隔板中部設置有通孔，通孔上端放置有樣品臺，樣品臺均勻設置若干放置拉絲模具的模具孔；還包括旁路管，旁路管設置于真空室一側(cè)、兩端分別與上腔室和下腔室連通，旁路管中部安裝有比例閥。

2.根據(jù)權利要求1所述的利用直流電弧等離子體批量制備微孔金剛石涂層拉絲模具的裝置，其特征在于：所述通孔和樣品臺均為圓形；樣品臺外環(huán)側(cè)設置有環(huán)形凸起；環(huán)形凸起的外徑大于通孔的內(nèi)徑。

3.根據(jù)權利要求2所述的利用直流電弧等離子體批量制備微孔金剛石涂層拉絲模具的裝置，其特征在于：所述模具孔的豎直截面為T形。

4.根據(jù)權利要求3所述的利用直流電弧等離子體批量制備微孔金剛石涂層拉絲模具的裝置，其特征在于：所述樣品臺的模具孔的數(shù)量不少于50個。

5.一種如權利要求1-4任一項所述的利用直流電弧等離子體批量制備微孔金剛石涂層拉絲模具的方法，其特征在于：所述方法使用所述裝置；所述方法將代加工的拉絲模具放置在樣品臺的模具孔內(nèi)，將樣品臺放置到真空室內(nèi)隔板的通孔上端；從進氣孔通入氣體，正極體接直流電源的正極、負極體接直流電源的負極，氣體被分解為等離子體，噴射到樣品臺的拉絲模具上；比例閥控制上腔室和下腔室的壓力差，上腔室壓力大于下腔室的壓力，等離子體穿過拉絲模具中孔流到下腔室，在拉絲模具中孔內(nèi)壁制備出金剛石涂層；下腔室底部出氣通道外側(cè)的磁環(huán)吸引等離子體。

6.根據(jù)權利要求5所述的利用直流電弧等離子體批量制備微孔金剛石涂層拉絲模具的方法，其特征在于：所述樣品臺放置之后、通入氣體之前先通入氬氣和氫氣的混合物。